Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Wafer orienter chamber for P5000 #9269013 zu verkaufen
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ID: 9269013
Wafergröße: 8"
8"
Wafer chuck, 8"
Wafer lift, 8"
Chamber lid
Part number / Description
0010-70247 / Laser optics, Assy
0010-20339 / Orienter rotation motor, Assy
0100-20068 / PCB, CCD
0090-76058 / Wafer orienter, PCB.
AMAT P5000 Wafer Orienter Chamber ist ein innovativer Reaktor, der höhere Ausbeuten an fortschrittlichen Materialien mit mehr Präzision und Kontrolle ermöglicht. Das P5000 ist für eine Reihe von Prozesstypen konzipiert, einschließlich Abscheidung, Ätzen und Reinigung von mehreren Wafersubstraten. Diese Maschine nutzt die neueste Hardware-Generation mit automatisiertem Prozesscontroller, verbessertem Sicherheitssystem, hochpräzisen Ausrichtungen und verbesserten Vakuumfunktionen. Die P5000 Wafer Orienter-Kammer bietet eine einzigartig große Produktionskapazität. Dies ermöglicht die Herstellung von Wafern bis 12 Zoll Durchmesser, wobei bis zu fünf Substrate gleichzeitig gehandhabt werden können. Jeder Wafer wird positioniert, und die genaue Position des Wafers kann mit fortschrittlichen digitalen optischen Subsystemen genau bestimmt und eingestellt werden. Dadurch wird eine präzise und wiederholbare Ausrichtung des Wafers während des Prozesses gewährleistet, was für die Herstellung von ertragreicheren Materialien wesentlich ist. Der Waferorienter kann so ausgebildet sein, dass er die Abscheidung verschiedener fortgeschrittener Materialien wie Oxide, Nitride, dünne Filme und andere Hochleistungsmaterialien ermöglicht. Dieser Reaktor verwendet einen hochempfindlichen Quarzkristallmonitor und einen Massenstromregler, der eine präzise Steuerung des gesamten Abscheidungsprozesses ermöglicht. Dies gibt den Betreibern die Möglichkeit, die Verteilung und Temperatur der Abgase genau zu steuern, was zu einer präzisen Abscheidung von Materialien und Gleichmäßigkeit über den Wafer führt. Die P5000 bietet auch ein konkurrenzloses Sicherheitssystem durch die Überwachung von Sicherheitsparametern wie Gas- und Vakuumdruck, Sauerstoffgehalt innerhalb des Reaktors und Temperaturbereich innerhalb der Kammer. Es ist auch mit externer Hardware für zusätzlichen Schutz ausgestattet, wie z.B. einem Inertgas-Lockout, der verhindert, dass Prozessgase in die Prozesskammer oder andere Bereiche gelangen. Die P5000 Wafer Orienter Kammer kombiniert modernste Hardware-Technologie mit bewährten Materialien Produktionstechniken für maximalen Komfort und Kontrolle. Es ist die perfekte Wahl für diejenigen, die größere und kleinere Mengen von Materialien effizient und präzise verarbeiten müssen.
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