Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Widebody Loadlock für Endura ist ein speziell entwickelter Reaktor, der eine gleichmäßige Abscheidung von Dünnschichtmaterialien auf verschiedenen Substraten ermöglicht. Die Anlage wurde entwickelt, um die Abscheidungsgleichmäßigkeit zu maximieren, Kontaminationen zu minimieren und eine wirtschaftliche Lösung für Dünnschichtabscheidungsprozesse zu bieten. Der Loadlock ist ein wichtiger Bestandteil des Endura Dünnschichtabscheidungssystems, da er eine effiziente Beladung, Ausrichtung und Übertragung von Substraten in und aus der Abscheidekammer ermöglicht. Der Widebody Loadlock verfügt über zwei Lastanschlüsse und zwei Evakuierungs-/Reinigungsanschlüsse, die beide mit O-Ring abgedichteten Entlüftungsöffnungen angezapft werden, um die Prozessumgebung zu erhalten. Der Boden der Ladekammer ist am Boden der Einheit angebracht und weist eine Hubplatte zur Substratübertragung auf. Beheizte Absperrschieber verhindern Verschmutzungen der Prozesskammer bei der Substratübertragung. Die Ladeschloss ist mit einem zweiteiligen Quarzdeckel ausgestattet, der intermittierend öffnen und schließen kann, um Prozessunterbrechungen zu minimieren. Nach dem Öffnen des Deckels wird der Vakuummechanismus in Eingriff gebracht, wodurch Substrate ohne Unterbrechung des Prozesses in die Kammer gelangen können. Die Ladekammer ist von einer vorgemischten, nicht-reaktiven Stickstoff/Argon-basierten Atmosphäre umgeben, die Verunreinigungen vorbeugt. Durch die Verwendung eines Doppelgasgemisches entfällt die Reinigung von Stickstoff- oder Argonleitungen, wodurch die Wartungskosten gesenkt werden. Das Innere der Ladekammer ist mit langlebigen HF-Stromversorgungen, Rubin-Quarz-Fenstern und grob geschnittenen Diffusionsleitblechen beschichtet, um eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung zu gewährleisten. Der Widebody Loadlock ist speziell für die Endura Dünnschichtabscheidemaschine konzipiert und kann problemlos eine Vielzahl von Substraten handhaben, von großen (300 x 300 mm) bis zu kleinen (so klein wie wenige Mikrometer). Neben den Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten ist die AMAT Widebody Loadlock für Endura auch mit einem Abgasstapel ausgestattet, der dazu dient, Prozesse und Abscheidungsnebenprodukte beim Eintritt in die Prozesskammer zu minimieren. Dieser Abgasstapel sorgt für eine sichere und saubere Prozessumgebung sowie für eine optimale Prozessgleichförmigkeit bei gleichbleibender Dünnschichtabscheidung. Das Werkzeug enthält auch einen tropfenförmigen Deckel, der dem Asset zusätzlichen Schutz bietet und gleichzeitig eine effiziente und sichere Übertragung von Substraten ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Widebody Loadlock für Endura ist ein zuverlässiges und robustes Modell, das unter Berücksichtigung von Effizienz und Gleichmäßigkeit entwickelt wurde. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie die Kontamination minimiert und die gleichmäßige Abscheidung von dünnen Folien maximiert und gleichzeitig eine kostengünstige Lösung für Dünnschichtabscheidungsprozesse bietet. Mit seiner fortschrittlichen Technologie und langlebigen Komponenten ist Widebody loadlock für Endura die ideale Wahl für Dünnschichtabscheidungsbedürfnisse.