Gebraucht APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155729 zu verkaufen

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ID: 155729
HP PVD system, 6" Chamber 1: Wsi Chamber 2, 4: WSix Chambers E, F: Orient Manual included 1999 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist ein revolutionärer Produktionsreaktor, der die kostengünstige Abscheidung fortschrittlicher Materialien, einschließlich Kupfer und Kupferlegierungen, durch einen innovativen Ansatz für offene Anlagen ermöglicht. Dieser Reaktor ist darauf ausgelegt, produktionswürdige Ergebnisse bei hohen Temperaturen und aggressiven Prozesschemien wie Plasmaätz-, PVD- und CVD-Prozessen zu liefern. Endura 5500 ist ein fortschrittlicher Mehrzonen-Vollwaferreaktor mit einer großen beheizten Kammer mit einer Temperaturregelung von bis zu 500 ° C und einer Prozesszeit von bis zu 90 Minuten pro Charge von bis zu 60 Wafern. Dieser Reaktor wurde entwickelt, um die Prozesseinheitlichkeit zu optimieren, mit proprietärer Vektorisierung und fortschrittlicher Gleichmäßigkeitskontrolle, was zu erhöhter Ausbeute und Produktqualität führt. APPLIED MATERIALS Endura 5500 integriert eine Reihe von Abscheide-, Ätz- und Sputtertechnologien, einschließlich der einzigartigen Inline Rapid Thermal Processing (iRTP) und Global Uniformity Control (GUC) -Technologie von Applied. Dieses System verfügt über eine breite Palette automatisierter Prozessautomatisierungs- und Steuerungsfunktionen, die eine modulare End-to-End-Fertigung ermöglichen. Endura 5500 verfügt über lineare und kreisförmige Verarbeitungskammern und ist in der Lage, eine breite Palette von Wafer-für-Wafer-Gleichmäßigkeitserträgen und Prozessgleichförmigkeiten zu liefern. Dieser fortschrittliche Reaktor kann bis zu 3-Zoll-Wafer gleichzeitig verarbeiten, mit Materialabscheidungsraten von bis zu 2000 Angström/min oder 2400 Angström/min je nach Konfiguration. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 verwendet proprietäre sextupolbetriebene magnetische Einschließung, um Prozessgase begrenzt zu halten und ihre Reaktion mit den Wänden des Reaktors zu reduzieren. Endura 5500 verfügt zudem über eine umfassende Prozessüberwachungseinheit mit Datenerfassungsfunktionen und einem Einsichtsfenster in alle Prozessparameter sowie eine webbasierte Remote-Support-Maschine zur einfachen Einrichtung und Bedienung. Darüber hinaus ermöglicht das integrierte Endura Management-Tool die vollständige Automatisierung einer Produktionsanlage. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 bietet beispiellose Präzision und Leistung für Kupfer und Kupferlegierung Ablagerungen, sowie andere fortschrittliche Materialien, wie es entworfen wurde, um Produktionseffizienz und Wirtschaftlichkeit zu maximieren. Dieser innovative Reaktor bietet eine äußerst zuverlässige und produktive Verarbeitungslösung mit Prozessexzellenz.
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