Gebraucht APPLIED MATERIALS Endura 5500 #180431 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 180431
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
PVD system, 8"
Specifications:
Main frame: through the wall configuration
Wafer handing: SNNF
Front panel type: Painted
Software version: 8.91
Single board computer in controller: Yes
Ion gauges: 451 nude
Robots:
Buffer robot: HP+
Blade material: Original metal
Load lock: No wide body
Index handler type: Enhanced tilt out
Loadlock vents: Variable soft vent + fast vent
Transfer robot: VHP
Blade material: CVD compatible
Narrow body: Yes (Tilt-out)
Chamber specifications:
Chamber 2:
Metal / Applic.: IMP Tin
Body Style: Vectra Imp
Source type: Vectra Imp
Power Supply: 12kW
Power Supply: 12kW
Heater: B101
Basic chamber setup:
A. Pass through
B. Cool down
C. PC 2
D. PC 2
E. Orientor with Std Degas
F. Orientor with Std Degas
Gasline fittings: AMAT specifications
For preclean / CVD:
Chamber C:
Vacuum pump type: Ebara
RF match: 180431
Cable length: 75"
RF match type: 8"
Power supply: RFPP 10A
Chamber D:
Vacuum pump type: Ebara
RF match: 180431
Cable length: 75"
RF match type: 8"
Power supply: RFPP 10A
MFC type:
Process MCF-1:
2: AR (size 100)
3: Hecar; BTpur;EDpur ;Phat (size 500;2000;3000;1)
4: AR (size 100)
C: AR (size 20)
D: AR (size 20)
Process MFC-2:
2: N2 (size 100)
3. 500;2000;3000;1 (size 1000;1000;1000)
C. AR (size 300)
D. AR (size 300)
Paste chamber: Yes (chamber 5)
System roughing pump type: Ebara
Chamber cryo pump type: OB8F
Umbilicals:
- mainframe to controller: Yes
- mainframe to generator racks: Yes
- mainframe to cryo compressor: Yes
- main AC to system controller/sys. AC: Yes
- syst cont/sys AC to primary Gen rack: Yes
- main AC to primary generator rack: Yes
- main AC to pump frame: Yes
- main AC to Neslab heat exchanger: Yes
- monitor cable: Yes
- monitor2 cable: Yes
- monitor3 cable: Yes
CE Mark: Yes
EMO Option: Yes
EMO button guard rings: Yes
Water leak detector: Yes
Buffer and transfer lid hoist: NO
Support Equipment:
Heat exchangers:
Number: 1
Type: AMAT
Cryo compressors: Yes
Number: 2
Type: 9600
Cryo He lines Yes
Neslab present: Yes
Resistivity meter: NO
Manuals not included
Installed
1999 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist ein High-End-Mehrkammerreaktor, der sich der Verbesserung der Leistung und Zuverlässigkeit von auf Silizium basierenden Geräten widmet. Endura 5500 wurde entwickelt, um hohe Erträge bei möglichst geringen Kosten zu erzielen und gleichzeitig höchste Qualität und Präzision zu gewährleisten. Das fortschrittliche Design von APPLIED MATERIALS Endura 5500 ermöglicht die Durchführung verschiedener siliziumbasierter Prozesse in einem einzigen Werkzeug, wie Abscheidung, Ätzen, Glühen, Abscheiden, Ätzen und Inspektion. Damit ist Endura 5500 in der Lage, den höchsten Durchsatz mit den höchsten Erträgen der Branche zu erzielen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 verwendet eine innovative Doppelpumpenanlage, die eine flexible und schnelle Abstimmung der Prozessparameter in allen Produktionsstufen ermöglicht. Das System nutzt hocheffiziente Pumpendrehzahlen, um Verschmutzungen zu reduzieren und gleichzeitig die nötige Leistung zu bieten, um viele verschiedene Prozesse abzuschließen. Zusätzlich verwendet das Gerät Infrarot-Heizung auf den Wafern, so dass der Benutzer die vollständige Kontrolle über die Prozesstemperaturen. Endura 5500 ist ein zuverlässiger und robuster Reaktor, der sich gut für die Herstellung von Halbleiterscheiben mit modernsten Halbleiterprozessen eignet. Die Maschine ist mit einem hohen Automatisierungsgrad ausgestattet, der die Realisierung komplexer Verfahren ohne manuellen Eingriff ermöglicht. Darüber hinaus ist die APPLIED MATERIALS Endura 5500 mit modernen Steuerungssystemen kompatibel und ermöglicht die Integration verschiedener Softwareplattformen in das Tool. Endura 5500 ist in der Lage, eine Vielzahl von Verfahren durchzuführen, einschließlich Chemical Vapor Deposition (CVD), um Materialien in einer kontrollierten Umgebung, Prozesstemperaturen bis zu 1100 ° C und einem Druckbereich bis zu 10 Torr abzuscheiden. Damit lassen sich ein- und doppelseitige Prozesse, wie Metallisierung und Photolithographie, schnell und mit hoher Kontrolle abschließen. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist mit einem einzigartigen Crystal Grower Modul (CGM) ausgestattet, das in der Lage ist, Kristallwachstum und Dotierung Dienstleistungen, die beide für die Schaffung bestimmter Arten von Halbleiterbauelementen notwendig sind. Das CGM bietet eine exakte Kontrolle der Temperatur und des Drucks, wodurch die kontrollierten und präzise dotierten Materialien gewonnen werden können. Endura 5500 Reaktor ist ein automatisierter, kostengünstiger und technologisch fortschrittlicher Vermögenswert. Das umfassende Leistungsspektrum macht es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, die höchste Präzision und Qualität erfordern. Dieser Reaktor ist ein zuverlässiges und vertrauenswürdiges Werkzeug, das für viele verschiedene Prozesse geeignet ist und eine zuverlässige Leistung für viele Jahre liefert.
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