Gebraucht APPLIED MATERIALS Endura 5500 #194410 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 194410
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1993
PDC System, 6", missing parts
Chambers: (2) standard, (1) wide body
Chamber 1: STD-Ta(CLAMP), DURA magnet
Chamber 2: Wide-TaSi(CLAMP), DURA magnet
Chamber 3: STD-AlCu(CLAMP), DURA magnet
Chamber A: PCⅡ(Pedestal)
1993 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist eine Reaktionskammer, die in Prozessen wie Abscheiden, Ätzen und Reinigen verwendet wird. Es wird verwendet, um Halbleiter, dünne Filme, Keramiken und andere Materialien zu verarbeiten. Endura 5500 verfügt über ein außergewöhnliches Prozessfenster, was bedeutet, dass sein beeindruckendes Spektrum an plasmatischen Temperaturen und Drücken für eine Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann. Dadurch eignet es sich eindeutig für viele Aufgaben wie Ätzen, Ionenstrahlfräsen, Sputtern und andere Prozesse. APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura 5500 ist eine Dreikammerausrüstung, d.h. mehrere Teile sind miteinander verbunden, können aber auch unabhängig voneinander betrieben werden. Die Kammern sind die Reaktionskammer (das ist der Hauptteil des Systems), die Ladekammer (die zum Be- und Entladen von Proben verwendet wird) und die heiße Prozesskammer (die zur Steuerung von Prozessgasen verwendet wird). Das Gerät ist vakuumkompatibel (VC) und kann einen Basisdruck von 1 x 10-6 mbar aufweisen. Die Reaktionskammer verfügt zudem über eine ausgeklügelte Polygonabtastung, die eine effiziente Ausnutzung des zur Verfügung stehenden Raumes bei gleichzeitiger Optimierung der Strahllinie ermöglicht. Endura 5500 hohe Netzteile sind effektiv für Anwendungen, die hohe Impulsleistung oder einen höheren Spitzenstrom erfordern. Es hat einen extrem niedrigen Stromverbrauch von weniger als 1000W pro Zoll Bandlänge und ist damit eines der energieeffizientesten Systeme auf dem Markt. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist mit einem 10,4-Zoll-Touchscreen-Display ausgestattet, das Benutzern eine vollwertige Fernbedienung bietet. Über seine intuitive grafische Benutzeroberfläche können Benutzer alle Prozessvariablen der Maschine steuern. Das Tool verfügt über die neuesten Sicherheitsfunktionen und ist mit einer Fehlerüberwachung ausgestattet, die Fehler erkennen und die Betreiber eines Problems warnen kann. Endura 5500 verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die es perfekt für verschiedene Aufgaben machen. Es ist FM (funktionelles Material) bereit und hat die Fähigkeit, Kammeroberflächen mit einer Vielzahl von Gasquellen wie Wasserstoff und Argon zu reinigen. Es hat auch die Fähigkeit, Quarzkristallabscheidungsüberwachung einzubeziehen und bietet Plasmaprozesszellen verschiedener Formen und Größen, um ein perfektes Ätzen oder Abscheiden zu erreichen. Abschließend ist APPLIED MATERIALS Endura 5500 ein hervorragendes Modell für die Halbleiterverarbeitung. Seine erweiterten Funktionen, einschließlich Polygon-Scan und Energieeffizienz, machen es zu einem leistungsfähigen und zuverlässigen Werkzeug für Aufgaben wie Ätzen und Abscheidung. Die verschiedenen Sicherheitsmerkmale und die intuitive Benutzeroberfläche machen es ideal für industrielle Anwendungen.
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