Gebraucht APPLIED MATERIALS Endura 5500 #66676 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 66676
PVD systems, 8", sputter TNAA
Mainframe
2 Phase Cryo Pumps (0190-76014)
No RGA Valves
Hoists for Buff
Ch 1 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 2 Configure
Wide Body Chamber w/o Shutter Assembly
13” Source Assembly for WB(0010-20401): MDX-L12M
Magnet part# : 0010-20223 or 0010-20818(Uncharged Al 13” Magnet)
Source Gear Box : 7.5:1
2 Position Gate Valve
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of those
Heater : Standard 101 heater, No Backside Heater Gas lines
Pneumatic lift assembly for 101
Chamber Interconnect PCB(STD)
Ch 3 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 4 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch C Configure
Chamber Interconnect PCB
RF Match box for 200 mm
RF Resonator
13.56 MHz Comdel Power Supply (CPS-1001S)
RFPP 400 KHz Power Supply (LF-10)
Turbo Pump/Adapter (Not Elbow Type)/Cable/Controller(NT150/360)
Ch A Configure : Passthrough
ExistWhole assembly
No Missing Parts
Ch B Configure : Cooldown
No Missing Parts
LLC A&B
Narrow Body Tilt out
CH E&F
Orient Degas Chamber
No TC Option
Degas Module Part# : 0010-20317
1995-1998 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor auf Plasmabasis, der entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Ätzleistung und niedrige Wartungskosten zu bieten. Endura 5500 ist mit den neuesten optomechanischen und Prozesskontrollfortschritten ausgestattet und kann eine präzise Ätzverarbeitung mit Hochgeschwindigkeitsdurchsatz und wiederholbaren Ergebnissen bei extrem niedrigen Betriebskosten liefern. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura 5500 verwendet eine Vielzahl fortschrittlicher Ätzprozesstechnologien, einschließlich Hochleistungs-Ionenfräsen, reaktives Ionenätzen mit hoher Dichte (RIE) und Sputterätzen. Mit Hochleistungs-Ionenfräsen können Ätzprozesse wie Mikromaschinen und Fehlerreparaturen präzise durchgeführt werden und qualitativ hochwertige, wiederholbare Ergebnisse liefern. Für Tiefätzanwendungen verfügt Endura 5500 über hochdichtes RIE, das die vierfache Ätztiefe herkömmlicher RIE ermöglicht. Für extrem präzise Ätzanforderungen beinhaltet APPLIED MATERIALS Endura 5500 ein hochmodernes Sputterätzverfahren, das ein präzises Ätzen von Strukturen bis zu 0,25 Mikrometern ermöglicht. Endura 5500 ist auch mit einer Reihe von Prozessautomatisierungsfunktionen ausgestattet, die zur Beschleunigung und Rationalisierung von Ätzroutinen entwickelt wurden. Die Prozesssteuerung und -automatisierung erfolgt durch den Einsatz eines integrierten Roboterarms und einer Reihe von RTC-Funktionen (Real Time Control), die den Benutzern die volle Kontrolle über Ätzparameter geben, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist APPLIED MATERIALS Endura 5500 mit einem integrierten erweiterten Inspektionssystem ausgestattet, das eine zuverlässige Prüfung und Bestätigung von Waferprozessen ermöglicht. Um Zuverlässigkeit zu gewährleisten und die langfristige Prozessleistung zu optimieren, umfasst Endura 5500 auch ein ausgeklügeltes vorausschauendes Wartungssystem, das die Ätzreaktorleistungsparameter überwacht und meldet, wenn Wartungsarbeiten durchgeführt werden müssen, wodurch Ausfallzeiten und Wartungskosten minimiert werden. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS Endura 5500 die perfekte Wahl für hochpräzise, hochdurchsatzreiche Ätzverarbeitung. Mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen, hochwertigen Prozessergebnissen und kostengünstigen Wartungslösungen ist Endura 5500 der ideale Ätzreaktor für eine Vielzahl von Anwendungen.
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