Gebraucht APPLIED MATERIALS Producer III #176119 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 176119
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
BPSG Twin Chamber, 12"
MKS ASTeX Astronex
2002 vintage.
ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller III ist ein Hochleistungswerkzeug zur Herstellung von Dünnschichtmaterialien. Es ist eine fortschrittliche Reaktorausrüstung, die die Abscheidung von dünnen Filmen auf ein hohes Maß an Qualität und Gleichmäßigkeit kontrollieren kann. Hersteller III ist eine Multi-Source, Multi-Target-Maschine mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das System verwendet eine Vakuumkammer, die Grunddrücke von bis zu 10-9 Torr erreichen kann. Die Kammer ist mit einem oberen Substratpositionierer und einem externen Laster ausgestattet. Die integrierten Quellensubstrate und Targets bestehen aus Zirkoniumdioxid mit keramischen Isolatoren zwischen jedem Ausgangsmaterial, um eine effektive Trennung zu erzielen und die Gleichmäßigkeit zu erhalten. ANWENDUNGSMATERIALIEN Hersteller III verwendet einen Doppelstrahl-Elektronenstrahl. Die Elektronenstrahlen werden verwendet, um das Ausgangsmaterial in einem streng kontrollierten Verfahren auf das Substrat zu verdampfen, das die ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Qualität des Dünnfilms gewährleistet. Die Kombination aus Doppelstrahl und Hochvakuumumgebung macht das Gerät ideal für Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsabscheidungsprozesse. Die Maschine kann auch zur reaktiven Abscheidung eingesetzt werden, wobei das Substrat unter Belichtung mit den Elektronenstrahlen einem reaktiven Gas ausgesetzt wird. Die Kombination der Elektronenstrahlen und des reaktiven Gases gewährleistet eine genaue Kontrolle der Zusammensetzung des Dünnfilms und ermöglicht die Herstellung komplexer Dünnschichtstrukturen. Hersteller III-Werkzeug ist mit einer Reihe von Prozesssteuerungs- und Überwachungswerkzeugen ausgestattet. Dazu gehören ein Echtzeit-Prozessmonitor, die Datenerfassung von Prozessbedingungen und eine integrierte automatische Substratplatzierung, die die Genauigkeit des Dünnschichtabscheidungsprozesses verbessert. Diese Werkzeuge ermöglichen es dem Benutzer, den Prozess mit größerer Genauigkeit zu überwachen und anzupassen, was eine engere Gleichmäßigkeit und Qualität der Dünnschichtstruktur ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN Hersteller III ist ein sehr vielseitiges, leistungsstarkes Werkzeug zur Herstellung von Dünnschichtmaterialien. Es ist in der Lage, überlegene Gleichmäßigkeit und Qualität der Dünnschichtstrukturen zu liefern. Durch den Einsatz von Dual-Elektronenstrahlen ermöglicht das Modell eine hochgenaue Steuerung des Abscheidungsprozesses, wodurch komplexe und hochpräzise Dünnschichtstrukturen hergestellt werden können. Die Echtzeit-Tools zur Prozessüberwachung und Datenerfassung ermöglichen eine hohe Prozesskontrolle und gewährleisten hohe Qualität und Einheitlichkeit.
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