Gebraucht ASM Epsilon 2000 #9050020 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9050020
Wafergröße: 8"
EPI Reactor, 8"
Model 26
Stand-alone, single wafer
Reactor module:
Model RP for reduced pressure processing and ATM processing
Vacuum load locks (scroll pump not included)
Clean-room front with color touch screen operator interface
(2) independent wafer cassette load locks
Right-hand maintenance access configuration
Automated wafer handling section with Bernoulli wand
VAT – reactor gate valve
Maintenance access: 2 0port in wafer handling chamber
Epitaxy process chamber, susceptor and related quartzware for 200mm wafer processing
Toshiba graphite: square
Observation windows on maintenance access doors in wafer handling and process chamber sections
68040-based computer
Operating system and software with 4.3 Gbyte hard disk drive
Multiport Injector Flange with water cooling circuit
Vibration Isolation Package
HCl detector: reactor module
Adjustable Spot Lamps
Gas control module:
Orbital welded 316L stainless steel, electropolished interior surface tubing
Line and component connections via metal-gasketed fittings
.003 micron point-of-use filtration
AERA mass flow controllers: Model 7810/7820
Gas sampling ports
Gas Loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etch
Dopant #1, diborane (B2H6) P-dopant, diluent and inject
Do pant #2, phosphine (PH3) or arsine (AsH3) N-dopant, diluent and inject
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Auxiliary loop for TCS with MFC and Lorex Piezocon controller
Advanced application valving
HCl detector – gas module
Precision Vent Matching
Power module:
Single point, 3-phase, 60 Hz, 480 VAC power input
Lamp array SCR packs
110 VAC/24 VAC power distribution circuits
Power and load protection devices
0 ft. (15.2m) of interconnect wiring harness for remote operation
Engineering console:
Color touch screen operator interface
Operator key lock control
Temperature control digital electronics
50 ft. (7.6m) of interconnect wiring harness for remote operation
Source cabinet with mini bubbler:
10-liter mini-bubbler
H2 Detector
HCl detector
TCS/DCS.
ASM Epsilon 2000 ist ein vielseitiger Reaktor, der unterschiedlichsten Anforderungen in einer Vielzahl von Anwendungen gerecht wird. Es soll ein zuverlässiger, wartungsarmer und sicher arbeitender Kernreaktor sein, der in der Lage ist, eine Vielzahl von spaltbaren Materialien und isotopenangereicherten Brennstoffen herzustellen, die in der Kerntechnik benötigt werden. Epsilon 2000 ist ein natriumgekühlter Schnellreaktor. Diese Art von Reaktor verwendet flüssiges Natrium als Kühlmittel, das es erlaubt, bei höheren Temperaturen als andere Reaktortypen zu arbeiten. Es ist mit einem doppelwandigen Kern und einem verstärkten Stahlbehälter gebaut, der zusätzliche Sicherheit und Schutz vor externen Quellen bietet. Darüber hinaus nutzt ASM Epsilon 2000 verschiedene Steuerungssysteme, um sicherzustellen, dass sein Kern seine Sicherheitsgrenzen nicht überschreitet. Epsilon 2000 hat gegenüber anderen Kernreaktoren eine Reihe von Vorteilen. Es hat eine 85% -Effizienz, was bedeutet, dass es in der Lage ist, mehr Energie mit weniger Kraftstoff zu produzieren. Ein verbesserter Kraftstoffverbrauch führt zu geringeren Betriebskosten und weniger Abfall, was ihn zu einer kostengünstigeren Reaktoroption macht. Darüber hinaus ermöglicht das Design von ASM Epsilon 2000 eine effizientere Kraftstoffnutzung, was bedeutet, dass mehr Kraftstoff in Energie umgewandelt werden kann, anstatt Energie durch Wärmeübertragung zu verschwenden. Epsilon 2000 verfügt außerdem über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie ein Notfallkern-Abschaltsystem und ein Sicherheitssystem für die Isolationszone. Mit diesen Eigenschaften wurde der Reaktor so konzipiert, dass er schnell und sicher auf Notsituationen reagieren kann. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über ein System zum Betrieb mit Betankungs- und Wartungsvorgängen, das sicherstellt, dass seine inneren Komponenten ordnungsgemäß gewartet werden und der Kraftstoff regelmäßig ausgetauscht wird. ASM Epsilon 2000 ist ein zuverlässiger Reaktor, der in der Lage ist, eine zuverlässige, effiziente und kostengünstige Energiequelle für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen. Die fortschrittlichen Sicherheitssysteme und die effiziente Kraftstoffnutzung zeigen, dass sie sich für die Erhaltung der Umwelt und des Wohlbefindens ihrer Nutzer einsetzen. Epsilon 2000 ist eine ideale Wahl für die Erzeugung von Kernenergie.
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