Gebraucht ASM EPSILON 3200 #9198737 zu verkaufen

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Hersteller
ASM
Modell
EPSILON 3200
ID: 9198737
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Chemical vapor deposition system, 12" Epitaxial reactor Reduced pressure Chamber Gas loops: Nitrogen (N2) purge Hydrogen (H2) carrier and purge Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas) Low flow hydrogen chloride (HCl) Auxiliary silicon source, silane (SiH4) Germanium source, germane (GeH4) SMIF System: (2) ASYST ISO Port Handler system: ASYST FI Robot GENMARK X-Fer robot Configuration: General system: Model: E3200 RP Left hand Graphite: Xycarb Deep grid self-centering susceptor Reactor pump: EBARA Front end interface: (2) Load ports (RF): Isoport (2) FOUP ID Readers (RF) Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration) Light tower - 4 Position User touch screen: Installation: Door mounted on wafer transfer module Single touchscreen Wafer handling section: Dual 25 wafer loadlock Vacuum load locks: Level 2 Pumps for VLL: Customer to supply: EBARA Bernoulli wand Reactor module: HCl Detector-reactor TEK Gas control module: Gases / Range N2 / 100slm H2 / 30slm Low flow HCl / 500sccm Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow) AUX 1: DCS / 500sccm AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2) AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2) AUX 4: SiH4 / 500sccm AUX 5: Reserve position for future silcore loop Teed inlet on N-Dopant circuit: Incoming check valves: 7 UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit Precision vent matching Mass flow verifier: Canister: 50 Liters HCl Detector: Gas module Power supply: 50Hz / 480VAC 2007 vintage.
ASM EPSILON 3200 ist eine Art Kernreaktor. Es verwendet ein Licht-Wasser-Reaktor (LWR) Ausrüstung, so dass es für große Stromerzeugung geeignet. Hauptbestandteile des Reaktors sind der Reaktorkern, das primäre Kühlmittelsystem und die Brennstäbe. Der Reaktorkern besteht aus Brennelementen bestehend aus mehreren hundert Uran-Brennstäben. Der Kern ist von einem Edelstahl-Druckbehälter umgeben, der alle Komponenten enthält. Der Kern wird in einen Pool aus leichtem Wasser getaucht, der als primäres Kühlmittel dient. Dieses Kühlmittel nimmt die durch die im Kern ablaufenden Reaktionen entstehende Wärme auf und überträgt sie dann an ein sekundäres Kühlmittel, das sie dann an Turbinengeneratoren überträgt. Neben den Brennstäben enthält der Kern auch Moderatoren, die die freigesetzten Elektronen verlangsamen, wenn Neutronen die Uranatome aufteilen. Dies verlangsamt die Kernreaktionen, wodurch der Reaktor weniger anfällig für die mit unkontrollierten Kettenreaktionen verbundenen Risiken ist. Zur weiteren Steuerung der Reaktionsgeschwindigkeit kann auch die Dichte der Brennstäbe variiert werden. Sicherheit ist ein weiterer wichtiger Aspekt von EPSILON 3200. Es verwendet mehrere Ebenen von Steuerungssystemen, die den Betrieb des Reaktors und alle zusätzlichen Sicherheitssysteme überwachen. Diese können auch zur Abschaltung des Reaktors im Notfall genutzt werden. Darüber hinaus ist der Reaktor so ausgelegt, dass er eventuell anfallende radioaktive Abfälle enthält. Der Reaktor ist beide mit einer Containment-Struktur ausgestattet und in einer sekundären Containment-Einheit untergebracht. Abschließend ist ASM EPSILON 3200 ein Leichtwasserreaktor. Es verwendet einen Edelstahldruckbehälter, um die Komponenten des Reaktorkerns zu enthalten und ist von einem Pool mit leichtem Wasser umgeben. Moderatoren und Kontrollsysteme sorgen dafür, dass die Kettenreaktion im Kern in einem sicheren Maß gehalten wird und bei Unfällen eine Containment-Maschine vorhanden ist. Unter Berücksichtigung all dieser Faktoren ist EPSILON 3200 eine sichere und zuverlässige Energiequelle.
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