Gebraucht ASM EPSILON 3200 #9198737 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9198737
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200 ist eine Art Kernreaktor. Es verwendet ein Licht-Wasser-Reaktor (LWR) Ausrüstung, so dass es für große Stromerzeugung geeignet. Hauptbestandteile des Reaktors sind der Reaktorkern, das primäre Kühlmittelsystem und die Brennstäbe. Der Reaktorkern besteht aus Brennelementen bestehend aus mehreren hundert Uran-Brennstäben. Der Kern ist von einem Edelstahl-Druckbehälter umgeben, der alle Komponenten enthält. Der Kern wird in einen Pool aus leichtem Wasser getaucht, der als primäres Kühlmittel dient. Dieses Kühlmittel nimmt die durch die im Kern ablaufenden Reaktionen entstehende Wärme auf und überträgt sie dann an ein sekundäres Kühlmittel, das sie dann an Turbinengeneratoren überträgt. Neben den Brennstäben enthält der Kern auch Moderatoren, die die freigesetzten Elektronen verlangsamen, wenn Neutronen die Uranatome aufteilen. Dies verlangsamt die Kernreaktionen, wodurch der Reaktor weniger anfällig für die mit unkontrollierten Kettenreaktionen verbundenen Risiken ist. Zur weiteren Steuerung der Reaktionsgeschwindigkeit kann auch die Dichte der Brennstäbe variiert werden. Sicherheit ist ein weiterer wichtiger Aspekt von EPSILON 3200. Es verwendet mehrere Ebenen von Steuerungssystemen, die den Betrieb des Reaktors und alle zusätzlichen Sicherheitssysteme überwachen. Diese können auch zur Abschaltung des Reaktors im Notfall genutzt werden. Darüber hinaus ist der Reaktor so ausgelegt, dass er eventuell anfallende radioaktive Abfälle enthält. Der Reaktor ist beide mit einer Containment-Struktur ausgestattet und in einer sekundären Containment-Einheit untergebracht. Abschließend ist ASM EPSILON 3200 ein Leichtwasserreaktor. Es verwendet einen Edelstahldruckbehälter, um die Komponenten des Reaktorkerns zu enthalten und ist von einem Pool mit leichtem Wasser umgeben. Moderatoren und Kontrollsysteme sorgen dafür, dass die Kettenreaktion im Kern in einem sicheren Maß gehalten wird und bei Unfällen eine Containment-Maschine vorhanden ist. Unter Berücksichtigung all dieser Faktoren ist EPSILON 3200 eine sichere und zuverlässige Energiequelle.
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