Gebraucht ASM EPSILON 3200 #9366109 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9366109
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200 ist ein fortschrittlicher Forschungsreaktor für Anwendungen wie Materialprüfung, Neutronenradiographie und Neutronenaktivierungsanalyse. Es handelt sich um einen 3-MWth-Niederleistungsreaktor mit einem Wassertank vom Pooltyp und einem Kern von 40 cm Durchmesser, der mit einem 20% igen Urandioxid-Brennstoff befeuert wird. Der Pool hat ein Volumen von 30 m3 und der Reaktor arbeitet in einem unterkritischen Zustand, was die Notwendigkeit eines kontinuierlichen Steuerstäbcheneinsatzes impliziert. Der Reaktor wird durch eine auf dem Kern angebrachte Vorheizung thermisch geschützt und der Neutronenfluss kann mit Moderator, Anreicherung und Brennelementzufuhr verändert werden. Die Steuerung basiert auf einem elektromechanischen System mit zwei ausfallsicheren Punkten und einer Logik, die es ermöglicht, den Reaktor bei etwaigen Anomalien wieder in den Normalbetrieb zu bringen. Sicherheitssysteme sind so konzipiert, dass Unfälle, die während des Betriebs auftreten können, wie Überhitzung, Brennelementschmelzen, Strahlenleckagen oder Verlust von Sicherheitssystemen, vermieden werden. Notstromversorgungssysteme mit automatischem Neustart und Reaktorschrottanlagen sind für höchste Sicherheitsanforderungen integriert. EPSILON 3200 ist ein zuverlässiger und effizienter Forschungsreaktor für die Untersuchung von Kernmaterialien, Neutronenaktivierung, Probenbestrahlungen, Neutronenradiographie, Neutronenstreuung und anderen neutronenbezogenen Anwendungen. Es ist in der Lage, Hochflussneutronen mehrerer Energien bereitzustellen, die in verschiedenen Anwendungen verwendet werden. Es kann leicht gewartet und betrieben werden und eignet sich für eine Vielzahl von Forschungen.
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