Gebraucht ASM Epsilon E3200 #9196380 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9196380
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200 ist ein Stromerzeugungsreaktor von ASM Nuclear Technologies. Es handelt sich um einen kleinen modularen Reaktor (SMR) der nächsten Generation von Reaktoren, der eine sichere, effiziente und kostengünstige Lösung für den potenziellen Energiebedarf bietet. Epsilon E3200 hat einen elektrischen Leistungsbereich von 200 MW und verwendet integrierte Druckwasserreaktor (PWR) Primärkühltechnologie. Der Reaktorkern ist von hochdichten Bor-Stahl-Plattenwänden umgeben, wobei das Innengehäuse eine geregelte Kernausrüstung enthält, die bleiarme Abstandsgitter, Steuerstäbe, Brennstoffkanäle und Calandria-Rohre enthält. Dies gewährleistet einen effizienten und sicheren Betrieb des Reaktors. Der Reaktor ist auch mit einer passiven Wärmeabfuhr ausgestattet, die es dem Reaktor ermöglicht, bei Verlust aller elektrischen Leistung zu kühlen. Diese Einheit basiert auf Prinzipien der Schwerkraft und natürlichen Zirkulation und nutzt keine Kraft. Diese Spitzentechnologie macht ASM Epsilon E3200 zu einem der sichersten Reaktoren, die derzeit auf dem Markt erhältlich sind. Epsilon E3200 umfasst auch eine digitale Mess- und Steuerungsmaschine, die die Echtzeit-Überwachung von Reaktorparametern ermöglicht. Dies hilft, den Reaktor auf höchstem Wirkungsgrad zu halten, und bietet auch eine frühzeitige Warnung vor möglichen Problemen oder Problemen. ASM Epsilon E3200 hat umfangreiche Sicherheitsüberprüfungen durch die Nuclear Regulatory Commission bestanden und ist für fortgeschrittene Sicherheitsmerkmale zertifiziert. Mit seinen fortschrittlichen Technologie- und Sicherheitsfunktionen eignet sich Epsilon E3200 ideal für den Einsatz an entfernten Standorten, wo der Zugriff auf herkömmliche Stromquellen begrenzt oder nicht vorhanden sein kann. Dies macht ASM Epsilon E3200 zu einer praktikablen Option für diejenigen, die eine effiziente und sichere Energiequelle suchen.
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