Gebraucht ASM Epsilon E3200 #9196380 zu verkaufen

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Hersteller
ASM
Modell
Epsilon E3200
ID: 9196380
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
Chemical vapor deposition system, 12" Epitaxial reactor Reduced pressure Chamber Gas loops: Nitrogen (N2) purge Hydrogen (H2) carrier and purge Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas) Low flow hydrogen chloride (HCl) Auxiliary silicon source, silane (SiH4) Germanium source, germane (GeH4) SMIF System: ASYST Integrated SMIF Handler system: ASYST FI Robot GENMARK X-Fer robot Configuration: General system: Model: E3200 RP Right hand Graphite: Xycarb Deep grid self-centering susceptor Reactor pump: BUSCH DS2000 supply Front end interface: (2) Load ports (RF): Isoport (2) FOUP ID Readers (RF) Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration) User touch screen: Installation: Door mounted on wafer transfer module Wafer handling section: Dual 25 wafer loadlock Vacuum load locks: Level 2 Pumps for VLL: Customer to supply: (2) BUSCH BC100 Bernoulli wand Reactor module: HCl Detector-reactor TEK Gas control module: Gases / Range N2 / 100slm H2 / 30slm Low flow HCl / 500sccm Dopant 1: Diborane / 20/200/200 Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200 AUX 1: DCS / 500sccm AUX 2 (Reserve position for future silcore loop) AUX 3: SiH4 / 500sccm AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC) Teed inlet on N-Dopant circuit: Pneumatic control UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) Multi-gas, multi-flow for GeH4 Precision vent matching Mass flow verifier: Canister: 50 Liters HCl Detector: Gas module Power supply: 50Hz / 480VAC 2007 vintage.
ASM Epsilon E3200 ist ein Stromerzeugungsreaktor von ASM Nuclear Technologies. Es handelt sich um einen kleinen modularen Reaktor (SMR) der nächsten Generation von Reaktoren, der eine sichere, effiziente und kostengünstige Lösung für den potenziellen Energiebedarf bietet. Epsilon E3200 hat einen elektrischen Leistungsbereich von 200 MW und verwendet integrierte Druckwasserreaktor (PWR) Primärkühltechnologie. Der Reaktorkern ist von hochdichten Bor-Stahl-Plattenwänden umgeben, wobei das Innengehäuse eine geregelte Kernausrüstung enthält, die bleiarme Abstandsgitter, Steuerstäbe, Brennstoffkanäle und Calandria-Rohre enthält. Dies gewährleistet einen effizienten und sicheren Betrieb des Reaktors. Der Reaktor ist auch mit einer passiven Wärmeabfuhr ausgestattet, die es dem Reaktor ermöglicht, bei Verlust aller elektrischen Leistung zu kühlen. Diese Einheit basiert auf Prinzipien der Schwerkraft und natürlichen Zirkulation und nutzt keine Kraft. Diese Spitzentechnologie macht ASM Epsilon E3200 zu einem der sichersten Reaktoren, die derzeit auf dem Markt erhältlich sind. Epsilon E3200 umfasst auch eine digitale Mess- und Steuerungsmaschine, die die Echtzeit-Überwachung von Reaktorparametern ermöglicht. Dies hilft, den Reaktor auf höchstem Wirkungsgrad zu halten, und bietet auch eine frühzeitige Warnung vor möglichen Problemen oder Problemen. ASM Epsilon E3200 hat umfangreiche Sicherheitsüberprüfungen durch die Nuclear Regulatory Commission bestanden und ist für fortgeschrittene Sicherheitsmerkmale zertifiziert. Mit seinen fortschrittlichen Technologie- und Sicherheitsfunktionen eignet sich Epsilon E3200 ideal für den Einsatz an entfernten Standorten, wo der Zugriff auf herkömmliche Stromquellen begrenzt oder nicht vorhanden sein kann. Dies macht ASM Epsilon E3200 zu einer praktikablen Option für diejenigen, die eine effiziente und sichere Energiequelle suchen.
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