Gebraucht ASM F120 #9384773 zu verkaufen

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Hersteller
ASM
Modell
F120
ID: 9384773
Thermal ALD system Upto 400°C (4) Reactors, 4" Single wafers Deposition: Al2O3: TMA and H20 TiN/TiO: TiCl and N2/O2 Uniformity: 80 - 90 mm.
ASM F120 Reaktor ist eine Art Partikelbettreaktor, der für verschiedene Oberflächenmodifizierungsprozesse verwendet wird. Dieser Reaktor verwendet ein kontinuierliches Mikrowellen-Plasmaverfahren, das eine Kombination aus einem Mikrowellen-Plasmafeld und einem rotierenden Partikelbett beinhaltet. Dieser Reaktor bietet eine Reihe einzigartiger Vorteile im Vergleich zu herkömmlichen Methoden der Oberflächenmodifizierung, wie chemische Dampfabscheidung (CVD) und Flammenpyrolyse, und ist ideal für Anwendungen wie Oberflächenoxidation und Beschichtung, Oberflächenpassivierung, Oberflächenstabilisierung und Bornitridotierung. Der ASM F 120 Reaktor besteht aus drei primären Komponenten - dem Mikrowellen-Plasmagenerator, dem rotierenden Partikelbett und der Prozesskammer. Der Plasmagenerator verwendet ein Magnetronrohr, um ein heißes Mikrowellen-Plasmafeld zu erzeugen, das in die Reaktorkammer eingespritzt wird. Das rotierende Partikelbett dient zum Transport der Partikel innerhalb des Plasmafeldes, was zu einer höheren Effizienz und Gleichmäßigkeit des Oberflächenmodifizierungsprozesses führt. Wenn man in die Prozesskammer schaut, enthält F120 Reaktor ein Quarzrohr, das ein geschlossenes unteres Ende, eine einstellbare Düse und vier Anschlüsse für Temperaturmessgeräte, Gaseinlässe, HF-Stromanschlüsse und andere Einsatzmaterialien aufweist. Die Kammer weist außerdem eine Reihe konzentrischer Quarzringe und einen Vorwärmer auf. Die Ringe erzeugen ein radiales Druckgefälle und der Vorwärmer dient zur Vorwärmung der Prozesskammer vor der Mikrowellenübertragung von Energie auf die Partikel. Die Eigenschaften des F 120-Reaktors können durch die Verwendung verschiedener Parameter wie Temperatur, Druck, Gasdurchfluss und HF-Leistung feinjustiert werden. Mit einem Temperaturbereich von bis zu 2000 C ist dieser Reaktor in der Lage, unter extremen Bedingungen zu arbeiten und eine höhere Gleichmäßigkeit und Leistung zu gewährleisten. Dieser Reaktor ist auch in der Lage, verschiedene Materialien zu verarbeiten, darunter Metalle, Kunststoffe und keramische Materialien. Abschließend ist ASM F120 Reaktor ein vielseitiger und effizienter Partikelbettreaktor, der für eine Vielzahl von Zwecken und Materialien eingesetzt wird. Dieser Reaktor nutzt ein Mikrowellen-Plasma-Verfahren, um eine gleichmäßige und effektive Oberflächenmodifizierung zu ermöglichen und bietet im Vergleich zu herkömmlichen Methoden eine Reihe von Vorteilen. Mit seiner Fähigkeit, unter extremen Bedingungen zu arbeiten und seine Fähigkeit, verschiedene Materialien zu verarbeiten, ist ASM F 120 Reaktor eine beliebte Wahl bei Anwendern in den Bereichen Oberflächentechnik und Bornitrid-Dotierung.
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