Gebraucht ASM Polygon 8300 #9004107 zu verkaufen
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ID: 9004107
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
ASM Vieleck 8.300 Reaktor ist ein unternehmenbestiegener Mehrzweck-, Hochdruckgassuspendierungsreaktor, der für die Handlung von polymeren Bausteinen für die Produktion von Polymern und für Reaktionstechnikexperimente entworfen ist. Der Reaktor ist mit einem mechanischen Rührer und einer Gaseinspritzeinrichtung nach einem modifizierten Wirbelschichtprinzip ausgestattet. Der Reaktor besteht aus einem zylindrischen Edelstahl-Druckbehälter mit zwei flachen Edelstahl-Endflanschen. Der Druckbehälter liefert ein Gesamtinnenvolumen von 8 Litern mit einem maximalen Betriebsdruck von 8 bar (g) bei bis zu 225 ° C. Ein Hochleistungs-Paddel und ein Gas-Lift-System mit Gasblasen-Lift-Vorrichtung ermöglicht einen hohen Energieeintrag und Mischgeschwindigkeiten, die schnellere Reaktionsgeschwindigkeiten und höhere Reaktionsselektivitäten ermöglichen. Polygon 8300 ist mit einer offenen Gaseinspritzeinheit ausgestattet. Diese Maschine besteht aus einem polygonförmigen „Gas-Blase-Lift“ -Injektor, der sich am Boden des Druckbehälters befindet, und einem Auslassrohr, das zur Oberseite des Behälters führt, wodurch Gase ohne große Druckverluste in den Reaktor einbezogen werden können. Der Reaktor ist auch für eine sichere Arbeitsumgebung mit allen Instrumenten, Ventilen, Pumpen und elektrischen Komponenten in das Gefäß selbst integriert. Der Druckbehälter und seine Endflansche sind mit Standard-Thermoelementen für Temperatur- und Drucksensoren sowie Sicherheitsdruckventilen zur Sicherung ausgestattet. Ein unabhängiger Manometer zeigt den Werkzeugdruck innerhalb des Behälters an. Darüber hinaus ist der ASM Polygon 8300 Reaktor für eine einfache Bedienung und maximale Effizienz ausgelegt. Alle Geräte sind darauf ausgelegt, Wärme- und Druckverluste zu minimieren und schnelle Anlaufzeiten zu erleichtern. Darüber hinaus ist der Reaktor auch für den automatisierten Betrieb und die Prozesssteuerung ausgelegt. Polygon 8300 eignet sich für den Betrieb unter aktiven, kontinuierlichen Strömungsbedingungen. Das Fördergut besteht aus einer vertikal montierten Peristaltikpumpe, die sowohl das Reagenz als auch das Reaktionsprodukt fördern kann. Zusammenfassend ist ASM Polygon 8300 Reactor ein hocheffizienter Mehrzweckreaktor, der sich für die Polymersynthese, reaktionstechnische Experimente und andere Anwendungen eignet. Sein offenes Gaseinspritzmodell bietet einen hohen Energieeintrag und Mischgeschwindigkeiten, während der Druckbehälter und seine integrierte Sicherheitsausrüstung Sicherheit während des Betriebs gewährleistet. Die automatisierte Bedienung und Prozesssteuerung garantieren maximale Effizienz.
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