Gebraucht ASML Frames #293652776 zu verkaufen

Ein ASML Frame ist ein Reaktortyp, der in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es ist ein Werkzeug zur Herstellung von Halbleitern mit präzisen Mustern von Elementen, die in elektronischen Bauelementen verwendet werden. ASML Frames werden in zwei Typen unterteilt: CVD (chemical vapor deposition) und PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Ein CVD ASML Frame ist eine horizontale Vakuumkammer, die mit Vorläufergas gefüllt ist. Im Inneren der Kammer befindet sich ein über einem Filament rotierender Wafer, der erwärmt wird, um eine thermische Reaktion zu erzeugen. Die Reaktion bewirkt die Abscheidung eines dünnen Films aus einem vorgegebenen Material - üblicherweise Silizium - auf der Oberfläche des Wafers, der das nachfolgende Muster für den Halbleiter bildet. Ein PECVD ASML Frame funktioniert ähnlich wie ein CVD Frame. In diesem Rahmen wird das Vorläufergas durch die Entladung aus einem Plasmagenerator ionisiert. Diese erhöhte Reaktivität der Gasmoleküle führt zu einer schnelleren Abscheiderate als CVD, schränkt jedoch die Art der abscheidbaren Filme ein. Es erfordert auch fortschrittlichere Komponenten, um das Plasma zu erhalten, was zu einer höheren Komplexität des Rahmens führt. Bei beiden ASML Frame-Typen erfolgt der gesamte Prozess in einer Vakuumkammer. Dies ist wesentlich, da die Reaktivität verschiedener Moleküle weitgehend vom Druck der Umwelt abhängt. Da der Prozess im Vakuum abläuft, kann keine Luft eintreten, so dass nur die vorgesehenen Moleküle für den Abscheidungsprozess verwendet werden. Der Wafer wird durch ein Spannfutter gehalten, das ihn in die Vakuumkammer eintaucht und verhindert, dass er sich durch thermischen Abbau verschlechtert. Außerdem ist das Spannfutter in der Lage, den Wafer gegen das Filament zu bewegen, was die Genauigkeit des Abscheidungsprozesses weiter verbessert. Normalerweise wird die Bewegung durch Software oder elektronische Steuerungen gesteuert. Schließlich ist die letzte wichtige Komponente, um eine gleichmäßige Filmabdeckung zu gewährleisten, eine Schutzflasche. Diese Flasche wird mit einem Lösungsmittel gefüllt, um den Wafer vor den hohen Temperaturen zu schützen, die während des Abscheidungsprozesses entstehen. Die Flasche verhindert auch, dass sich Partikel in der Luft auf der Oberfläche des Wafers absetzen und bildet eine Barriere gegen luftgetragene Verunreinigungen. Abschließend sind Frames notwendige Bauelemente in der Halbleiterindustrie. Sie ermöglichen eine präzise Abscheidung von dünnen Folien, die für die Herstellung zuverlässiger und konsistenter elektronischer Bauteile entscheidend sind.