Gebraucht BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9259772 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 9259772
Wafergröße: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS ist ein fortschrittlicher Reaktor für den Einsatz in einer Vielzahl von Forschungs- und Fertigungsanwendungen. Es besteht aus einer Vakuumkammer mit einer proprietären modularen Steuerbypass-Architektur und Niederdruck- und Hochdruckventilen. Entworfen, um Prozesssteuerung und Reaktorleistung zu optimieren, ist die Ausrüstung ideal für Neutralisation, Hydrierung und Elektrodenherstellung. Backbone-VTS kann Reaktionen wie CVD, PE, POV und CPC unterstützen. Mit einem Mindestdruck von 1 mbar ist der Reaktor in der Lage, die erhaltenen Prozess- und Materialeigenschaften genau und zuverlässig zu reproduzieren. Seine effiziente und robuste Konstruktion, die in der Lage ist, verschiedene Arten von Temperaturregelungssystemen und Drucksensoren aufzunehmen, bietet die notwendige Flexibilität, um Prozesse auf bestimmte Anforderungen abzustimmen. Der Reaktor verfügt auch über mehrere unabhängig voneinander betriebene Duschkopfanordnungen, die jeweils mit einer separaten Ablationskammer und einer integrierten Stromversorgung ausgestattet sind. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozeßzeit, Temperatur und Druckparameter. Darüber hinaus werden erweiterte Haltbarkeitsmerkmale in das Design integriert, was eine zuverlässige und konsistente Temperaturgleichförmigkeit im gesamten Reaktorraum ermöglicht. Dieses Gerät bietet eine extrem effiziente Vakuumregelung. Seine eingebaute Niederdruckregelung ermöglicht es dem Benutzer, den Innendruck zu steuern, wodurch plötzliche Druckabfälle aufgrund eines Prozessfehlers beseitigt werden und eine überlegene Reproduzierbarkeit entsteht. Auch eine integrierte Kalt- und/oder Warmwasserkreislaufmaschine sorgt für ein gleichmäßiges Temperaturprofil im gesamten Reaktionsraum. BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS integriert auch zusätzliche benutzerfreundliche Funktionen wie einen keramisch gekippten Quarzkristallsensor, eine peristaltische Pumpe, ein digitales Auslesewerkzeug (DRO) sowie Prozessfehler- und Prozesstoleranzprozesse. Eine breite Palette an Zubehör, wie eine Handschuhkarton und zusätzliche Sensoren, können in das Design integriert werden, so dass mehrere Reaktorverarbeitungskonfigurationen möglich sind. Alle oben genannten Merkmale sind in Backbone-VTS enthalten, dem hochmodernen Reaktor, der höchsten Qualitäts- und Leistungsstandards entspricht. Einfach zu installieren und zu bedienen, ist diese leistungsfähige und effiziente Anlage eine ideale Wahl für alle Forschungs- und Fertigungsanwendungen.
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