Gebraucht CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #293811829 zu verkaufen

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der für Hochdurchsatzverarbeitung und konsistente nanoskalige Filmabscheidung entwickelt wurde. Die Anlage nutzt eine einzige Quarzreaktorkammer mit einer hermetisch abgedichteten Tür, die einen hochpräzisen Waferspinnprozess beherbergt. Der S-200 ist in der Lage, Temperatur, reaktiven Gasfluss und Druckparameter genau zu steuern, um eine konsistente experimentelle Wiederholbarkeit zu erreichen. Der S-200 nutzt einen Temperaturbereich von 30-450 ° C, einen Druckbereich von 0-20 Torr und wählbare Reaktionsgase, die für Reaktoren von 150-750 mm geeignet sind. Die Quarzreaktorkammer beherbergt den Substratwafer, den Schleudermotor und die Linear/Ms-Spülaktuatoren. Eine Doppeltiegelkonstruktion im Reaktorraum ermöglicht die gleichzeitige Verwendung von zwei Materialien und die präzise Steuerung der Reaktanden. Der Spin-Motor liefert 8-20K Drehzahl, die schnelle Abscheidezeiten und eine präzise Dickenkontrolle ermöglicht. Innerhalb der Reaktorkammer befinden sich vier Gaseintrittsöffnungen. Der Anwender kann Reaktionsgase aus beiden Einlassöffnungen wählen, so dass zwei Versuche mit verschiedenen Arten von Reaktanden möglich sind. Das hochpräzise Wafer-Spinnverfahren ermöglicht ein schnelles, gleichmäßiges Abscheiden von Materialien, ohne dass zur Beschleunigung des Prozesses ein Substrat gespinnen werden muss. Nach dem Spinnen entleert das S-200 das nicht umgesetzte Gas aus der Reaktorkammer, wodurch die Reaktionsreaktivität des Reaktionspartners verringert und die Ungleichförmigkeit des Films verringert wird. Der S-200 bietet zahlreiche Leistungsmerkmale, die sich gleichermaßen für F&E und Produktionsumgebungen eignen. Das System enthält auch eine leistungsstarke grafische Benutzeroberfläche (GUI) zur Konfiguration der Reaktorparameter, zur Definition von Prozesszonen, zur Einrichtung von Batch-Läufen und zur Überwachung des Ablagerungsverlaufs. Integrierte Management- und Reporting-Tools ermöglichen den Anwendern die Überwachung experimenteller Output und Unit Performance sowie Dokumentenrecherchen. Das benutzerfreundliche Design der Maschine erleichtert den Zugriff auf detaillierte Prozessdaten und CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200 ermöglicht eine schnelle Datenanalyse und -manipulation. Savannah S-200 ist ein zuverlässiger und präziser CVD-Reaktor, der sich gut für die nanoskalige Filmabscheidung eignet. Der Reaktor bietet schnelle Verarbeitungszeiten, wählbare Reaktionsgase und einen weiten Temperaturbereich und eignet sich somit ideal für Forschungs- und Produktionsanwendungen mit hohem Durchsatz.