Gebraucht CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #9365906 zu verkaufen

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 Reactor ist eine Plasma-verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Ausrüstung für fortschrittliche Mikrogeräteherstellung entwickelt. Dieses Tool ermöglicht die Abscheidung von Folienwachstumstechnologie mit einem unglaublich niedrigen Platzbedarf. Der S-200 eignet sich für eine breite Palette fortschrittlicher dielektrischer und Metallfolien sowie für innovative Anwendungen in der Materialforschung. Die Stromquelle von S-200 ist ein HF-Generator, dessen Frequenz von 13,56 MHz bis 40 MHz reicht. Der einstellbare Leistungsbereich von 200 W bis 3.000 W und das Präzisionsniveau von + 0,01 ms Die Substratgrößen des S-200 sind auf 4 Zoll (10 cm) Wafer mit einem maximalen Temperaturbereich von 450 ° C begrenzt. Der einstellbare Druckbereich reicht von 0,6 Torr bis 10 Torr. Um qualitativ hochwertige Ergebnisse der chemischen Dampfabscheidung zu erzielen, benötigt der S-200 nur 5000 sccm Durchfluss. Die Abscheidungsvakuumkammer des S-200 verfügt über Gaseinlassrohre, um einen gleichmäßigen Gasstrom zur Abscheidung zu erzeugen. Zur Erzeugung von Plasma werden Elektroden verwendet. Eine nicht verdampfbare Getterpumpe (NEG) fällt die Verunreinigungen mit Hilfe einer Reihe von Gettermaterialien auf Titanbasis auf. Zur Aufrechterhaltung des Kammerdrucks wird die Turbomolekularpumpgruppe verwendet. Der S-200 verfügt über erweiterte Sicherheitsfunktionen. Ein Übertemperatur-Grenzregelkreis verhindert abnorme Gasströmung oder andere Fehlfunktionen der Kammer. Ein isoliertes Hochspannungskabel isoliert die Hochleistungsquellen des Systems. Der Einlaßkrümmer des S-200 schränkt die Strömung der Gase ein, um eine höhere Reinheit in der Kammer zu gewährleisten. Die S-200 verfügt auch über eine Rezeptspeichereinheit, um bis zu fünf Rezepte zu speichern. Es ist eine Anordnung von Motoren vorgesehen, so daß die verschiedenen Bewegungsstufen durch gesonderte Joysticks nach den Vorlieben des Benutzers gesteuert werden. Ein farbiger LCD-Touchscreen mit einem benutzerfreundlichen, intuitiven Design ermöglicht es dem Benutzer, die Maschine genau zu programmieren. CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200 Reactor ist ein High-Tech-Abscheidewerkzeug, das sichere und zuverlässige PECVD-Lösungen für fortschrittliche dielektrische und Metallfolienanwendungen bietet. Das effiziente Gasgemisch, die Vakuumregelung und die präzise Motorsteuerung machen diesen Reaktor zu einer idealen Wahl für Forschungslabore und Produktionsumgebung.