Gebraucht CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453 zu verkaufen

CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah
ID: 293590453
Single wafer ALD System.
CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah ist ein robuster Hochgeschwindigkeitsreaktor zur Verarbeitung von Verbundhalbleitern in verschiedenen Dicken und Größen. Dieser Reaktor ist ein Werkzeug der Wahl für viele Universitäten und industrielle Forschungs- und Entwicklungslabore. VEECO Savannah bietet einen vollautomatischen Prozess mit einer Selbstkalibrierungsfunktion, die einen kontinuierlichen manuellen Eingriff überflüssig macht. Es kann für eine Vielzahl von Materialien Synthese, Herstellung und Modifikation Prozesse, wie Dotierung, epitaktische Abscheidung und Ätzen verwendet werden. Der Reaktor ist mit vier unabhängigen Gaskanälen gebaut und hat eine Kapazität von bis zu neun Wafern. Jeder Wafer wird nacheinander vom Roboterarm bearbeitet, so dass Prozessgase und Probenmaterialien automatisch geschaltet werden können. Dadurch können präzise Faktoren wie Wachstumsrate und Temperatur programmiert und genau eingehalten werden. CAMBRIDGE NANOTECH Savannah verfügt über ein Niederdruckverfahren, das für die fortschrittlichsten epitaktischen Abscheidungsprozesse notwendig ist. Es hat einen Temperaturbereich von 100 ° C-800 ° C und kann entweder mit DC- oder HF-Stromquellen verwendet werden, so dass es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet ist. Um eine präzise Wachstumskontrolle zu gewährleisten, verfügt Savannah über einen End-of-Run-Detektor, ein Diagnosegerät und eine geschlossene Temperaturregelung. Darüber hinaus verfügt es über ein komfortables Wafer-Transfer-System, eine integrierte Metrologie-Einheit und eine Anti-Kontamination-Maschine, die Partikelverunreinigungen während des gesamten Laufs verhindert. CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah ist ein hocheffizienter, benutzerfreundlicher Reaktor, der speziell für die Abscheidung von Verbundhalbleitermaterialien und anderen Verfahren entwickelt wurde. Mit seinen vielfältigen Prozessparametern und der präzisen Wachstumskontrolle ist VEECO Savannah ein ideales Werkzeug für Halbleiterforscher und bietet die perfekte Plattform für die Erforschung und Entwicklung neuer Prozesse.
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