Gebraucht CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293597728 zu verkaufen
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ID: 293597728
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
CANON/ANELVA COSMOS I-1201 ist ein kompakter und leistungsstarker Sputterreaktor, der zur Abscheidung dünner Filme verwendet wird. Es handelt sich um einen DC-Magnetron-Reaktor, der dünne Filme mit Abscheidegeschwindigkeiten bis zu 0,2 nm/s herstellen kann und praktisch jedes Material sputtern kann. Der Reaktor ist mit einer Montagestruktur zum Halten von Substraten, einer Abgasanlage zum Evakuieren der Kammer, einem HF-Generator zum Steuern des Prozesses und einer Ionenquelle zum Manipulieren der Ladungen von Ionen ausgestattet. Der Reaktor weist ferner einen magnetronartig beheizten Faden für Ionenquellen, ein Ionenstrahlbeschleunigungsrohr, eine Elektronenkanone und einen mehrstufigen Elektronenzylindermagneten auf. CANON COSMOS I-1201 ist in der Lage, hochwertige, gleichmäßige dünne Filme zu produzieren und kann praktisch jedes Material sputtern. Es nutzt eine hochfrequente Wechselstromversorgung, um eine Niederdruckumgebung in der Kammer zu schaffen, die das Sputtern von Metall- und Metalloxidfilmen ermöglicht. Es eignet sich zur Herstellung von Kupfer, Aluminium, Titan, Zink und anderen Metallen sowie einer Vielzahl von Metalloxidfilmen. Der Reaktor hat eine einstellbare Leistung bis 1000 W und hat die Fähigkeit, die Abscheiderate basierend auf der Dicke des Zielmaterials einzustellen. Die Gesamtstruktur von ANELVA COSMOS I-1201 ist auf minimale Wartung und geringe Betriebskosten ausgelegt. Der modulare Aufbau ermöglicht eine einfache Demontage und Wiedermontage für Wartungszwecke. Die Kammer verfügt über einen Deckel für einfache Reinigung und das Substrat kann gedreht und eingestellt werden, um den gewünschten Winkel und Bereich der Abscheidung zu erhalten. Die Maschine ist auch mit Gas- und elektrischen Sicherheitsabschaltern und einer Vielzahl von Prozessüberwachungssensoren ausgestattet, mit denen eine optimale Leistung aufrechterhalten werden kann. COSMOS I-1201 ist ein leistungsstarker Sputterreaktor, mit dem dünne Filme mit überlegener Qualität zu vernünftigen Kosten abgeschieden werden können. Es bietet eine hochpräzise Kontrolle über den Prozess und ist in der Lage, ultradünne Folien mit gleichmäßiger Dicke und ausgezeichneter Reproduzierbarkeit zu produzieren. CANON/ANELVA COSMOS I-1201 ist mit seiner bequemen Wartungsstruktur, den einstellbaren Leistungsstufen und der bewährten Haltbarkeit die perfekte Wahl für Anwendungen bei der Herstellung von Dünnschichtkomponenten.
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