Gebraucht CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672 zu verkaufen

CANON/ANELVA Cosmos I-1201 ist ein Vakuumbogenreaktor (VAR), der in industriellen Sputterverfahren eingesetzt wird. Es handelt sich um eine kompakte, vollständig abgedichtete und in sich geschlossene Vorrichtung zur Steuerung der Abscheiderate von reaktiven und nicht-reaktiven metallischen, dielektrischen und keramischen Beschichtungen auf verschiedenen technischen Materialien. CANON Cosmos I-1201 wird durch einen Bogen angetrieben, der zwischen einer Anode und einer Kathode gebildet wird, wenn eine vakuumdichte Kammer mit einem Niederdruckgemisch aus Argon und Sauerstoff gefüllt ist. Der Lichtbogen wird durch elektrischen Strom erzeugt, der von der negativ geladenen Kathode zur positiv geladenen Anode fließt. Dieser Lichtbogen erzeugt ein Plasmafeld, wodurch reaktives und nicht-reaktives Material aus einem erhitzten Target verdampft und dann auf ein Substrat zur Bildung einer gewünschten industriellen Beschichtung abgeschieden werden kann. ANELVA Cosmos I-1201 ist mit einem Medienphasengenerator ausgestattet, der den Betrieb im reaktiven Sputter- oder nichtreaktiven (Magnetron-) Sputterbetrieb ermöglicht. Im Sputterbetrieb verwendet Cosmos I-1201 die Magnetron-Technologie, um hochgleichmäßige Beschichtungen zu erzeugen und gleichzeitig weniger Strom zu verbrauchen als herkömmliche Verdampfungssysteme. Das Magnetron dient als zentrales Bauteil in der Kammer und beeinflusst durch seine Ausbildung die Leistungsfähigkeit und Gleichmäßigkeit der zerstäubten Beschichtung erheblich. Das geschlossene Elektronenzyklotronresonanzsystem (ECR) liefert höhere Substratoberflächentemperaturen, wodurch erodierte Zielmaterialnebenprodukte wesentlich reduziert werden. Das Vakuumsystem von CANON/ANELVA Cosmos I-1201 ist umfangreich und ermöglicht den Betrieb bei Drücken von unter 10-4 Pa bis über 10-2 Pa. Zwei Besonderheiten der Vakuumkammer sind die Trilockdichtungen zwischen den Kammern und dem Schwenkboden, die für eine schnelle und einfache Wartung und Ausrichtung sorgen. Je nach Art der Filmabscheidung kann CANON Cosmos I-1201 mit zwei oder vier Prozesskammern für den Mehrkammerbetrieb ausgestattet werden. Das Anodenkühlsystem basiert auf wassergekühlten Elektroden und einer wassergekühlten Kammer und sorgt für eine effiziente Wärmeabfuhr im Betrieb. Das patentierte Anodenkühl- und Ölkühlsystem verhindert thermische Schäden an der Anode und arbeitet daran, eine gleichmäßige und konstante Temperatur im gesamten angestrebten Substrat aufrechtzuerhalten. ANELVA Cosmos I-1201 verwendet fortschrittliche Technologien, um präzise, wiederholbare Prozesse und sicheren Betrieb zu gewährleisten. Die neueste Software, kombiniert mit der Multi-Use-Architektur, ermöglicht es dem Benutzer, die vielen Parameter des Abscheidungsprozesses vollständig zu überwachen, zu steuern und anzupassen. Zusätzlich liefert die integrierte In-situ-Diagnose, sofern aktiviert, Informationen über die Plasmaparameter, einschließlich der Strom- und mittleren Strahlleistung, Wärmelast sowie Zielstrom und -spannung. Insgesamt ist Cosmos I-1201 ein zuverlässiges und effizientes Reaktorgerät, das zahlreiche industrielle Sputterprozesse ermöglicht. Es besteht aus fortschrittlichen Engineering-Lösungen und modernster Technologie, die Genauigkeit, Vielseitigkeit und sicheren Betrieb gewährleistet.