Gebraucht CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966 zu verkaufen

CANON/ANELVA COSMOS I-1201 ist ein Reaktor auf Plasmabasis, der typischerweise in Oberflächenbehandlungen und anderen Dünnschichtanwendungen eingesetzt wird. Es ist mit einem 10,4-Zoll-Touchscreen für einfache Bedienung sowie mehreren Warnsystemen ausgestattet, um die Sicherheit zu gewährleisten. CANON COSMOS I-1201 verwendet Mikrowellen, um ein Hochtemperatur-Plasma mit hoher Dichte zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Dieses Plasma dient zur Anregung, Ionisierung und indirekten Erwärmung einer Zielgasspezies, die wiederum mit Substratmaterialien zu dünnen Filmen reagiert. Alle physikalischen Parameter und Zielbedingungen im Prozess können mit dem Touchscreen-Panel angepasst werden, wie die Quellenleistung, Gasdurchflussrate, Temperatur und Druck. Um eine hohe Leistung zu gewährleisten, ist der Reaktor mit fortschrittlichen Systemen ausgestattet, um die Plasmaparameter zu überwachen und zu erhalten. ANELVA COSMOS I-1201 weist eine zylindrische Anordnung auf, wobei die Reaktorkomponenten symmetrisch um die Mittelachse des Reaktors angeordnet sind. Diese Konfiguration hilft bei der Optimierung der Gaskammergröße und Plasmadichte für eine effiziente Plasmaproduktion. Der Boden der Reaktorkammer ist aus speziellem Keramikmaterial mit geringer Wärmeleitfähigkeit hergestellt, um Wärmeverluste aus dem Prozess zu reduzieren. Das Plasmagerät verfügt über eine zentrale Stromversorgung, ein Speisesystem, ein Steuer- und Überwachungsgehäuse und eine zentrale Steuerung. Der Zylinder liefert ein gleichmäßiges Plasmatemperaturprofil, das die Reaktorkammer wirksam gegen äußere Störungen „abdichtet“ und gleichmäßige Plasmaparameter beibehält. Die im COSMOS I-1201 Plasmareaktor verwendete HF-Quelle ist ein Induktionstyp, dessen Frequenz von 1 MHz bis 13,56 MHz einstellbar ist. Die Verwendung der niedrigeren Frequenz hilft, die Prozesse effizienter zu betreiben und das Sputtern zu reduzieren. Auch die gesamten Plasmaparameter und Prozessbedingungen können über die mit dem Reaktor installierte Software in Echtzeit überwacht werden. Der Reaktor wird durch eine Chlorid-Korrosionsschutzschicht für optimale Leistung bei hoher Luftfeuchtigkeit abgeschirmt. Der Reaktor ist einzigartig unter anderen Plattenreaktoren aufgrund seiner kompakten Größe, geringen Stellfläche und einfach zu bedienenden Steuerschnittstelle. Der CANON/ANELVA COSMOS I-1201 Plasmareaktor ist mit seiner Hochleistungs- und Niederenergieleistung eine ideale Lösung für viele industrielle Materialbearbeitungsanwendungen.