Gebraucht CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9377264 zu verkaufen

CANON/ANELVA COSMOS I-1201 ist ein hocheffizienter, kompakter und leistungsstarker Ätz- und Abscheidungsreaktor. Es eignet sich besonders zum Ätzen und Abscheiden von Metallen, Halbleitern, Verbindungen und Dielektrika. Es ist in der Lage, bis zu 500 W Leistung bei einer Frequenz von 1-30 MHz zu liefern und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, wie Mikrofabrikation und Dünnschichtabscheidung. Es ist so konzipiert, dass es mit den gängigsten Geräten und Materialien kompatibel ist, was es zu einer idealen Wahl für Forschungslabore und industrielle Anwender macht. CANON COSMOS I-1201 verfügt über eine integrierte Stromversorgung und zwei separate Kammern. Die erste Kammer ist eine Ätzkammer, in der das Prozessgas eingeleitet und durch eine Kombination aus Gaspaneel, Ventil und Kammerdruckmesser gesteuert wird. Die Kammer ist für eine optimale Plasmagleichförmigkeit ausgelegt und kann einfach überwacht und eingestellt werden, um sicherzustellen, dass die gewünschten Ergebnisse erzielt werden. Die zweite Kammer ist eine Abscheidekammer und soll gleichmäßige filmartige Eigenschaften, wie Abscheidegeschwindigkeit, Gleichmäßigkeit und Genauigkeit aufweisen. Es kann Materialien jeder Größe und Dicke aufnehmen und für verschiedene Anwendungen mit mehreren Prozessgasen kombiniert werden. Ein weiteres Merkmal von ANELVA COSMOS I-1201 ist die Elektronenkanone E-gun, die direkte Elektronenstrahlätz- und Abscheidungsmöglichkeiten bietet. Die Pistole ist mit einer automatischen HF-Pistole Stromquelle ausgestattet, die einen zuverlässigen Betrieb und eine schnelle, präzise Abscheidung und Ätzung ermöglicht. Die HF-Leistung ist über einen weiten Bereich einstellbar, um Substratheizung und Glühen zu ermöglichen. Um die Genauigkeit des Verfahrens zu verbessern, können die Elektronen der E-Pistole mittels eines unabhängig einstellbaren Fokussiergitters fokussiert und kollimiert werden. COSMOS I-1201 ist auch mit einem Auto-Tuner zur automatischen Einstellung der Parameter des HF-Generators ausgestattet. Dadurch kann der Anwender die Parameter des Plasmas an die gewünschten Bedingungen anpassen und eignet sich besonders für hohen Durchsatz und Wiederholbarkeit. Schließlich verfügt CANON/ANELVA COSMOS I-1201 über ein integriertes Sicherheitssystem und ist für OSHA-Compliance konzipiert. Es enthält zahlreiche Sicherheitsmerkmale wie Ionisationsalarme, Überhitzungsschutz und einen Notabschalter. Es verfügt auch über ein emissionsarmes Filtersystem, um gesunde Arbeitsbedingungen im Operationssaal zu gewährleisten. Ein klares Sichtfenster ermöglicht es dem Benutzer, den Prozess jederzeit im Auge zu behalten. Zusammenfassend ist CANON COSMOS I-1201 ein hocheffizienter, kompakter und leistungsstarker Abscheide- und Ätzreaktor. Es ist in der Lage, hohe Leistung mit präziser Steuerung und einer breiten Palette von Prozessgasen zu liefern und ist für einen sicheren und zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Es ist ideal für Forschungslabore und industrielle Anwender und ist sicher, die Effizienz und Genauigkeit vieler Prozesse zu verbessern.