Gebraucht CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057 zu verkaufen

CANON/ANELVA COSMOS I-1201 ist ein Reaktortyp für Anwendungen wie Ätzen und Abscheiden in der Halbleiterindustrie. Es ist eine Art Ionenätzausrüstung, bestehend aus einer zylindrischen Kammer, in der die Quellen und das Substrat angeordnet sind, und dem Gasstrom und anderen Hilfssystemen um sie herum. Die Kammer ist in eine Hauptreaktionskammer unterteilt, die die Quellen aufweist, sowie mehrere Nebenkammern, die zur Gasströmungssteuerung und Hilfsfunktionen dienen. Die Hauptreaktionskammer ist zylindrisch geformt und aus Edelstahl gefertigt. Es hat einen Durchmesser von 12 Zoll und eine Länge von 16 Zoll, mit einer aktiven Höhe von 12 Zoll. Es kann bei Drücken zwischen 1,3 × 10-4 Pa und 0,6 Pa betrieben werden. Es kann von Raumtemperatur bis 1000 Grad Celsius mit einer Beschleunigungsspannung von bis zu 20 kV erwärmt werden. Zu den Hauptkomponenten der Kammer gehören ein Paar elektrostatischer Ionenpole und ein Ionenfilter. Die Pole erzeugen ein starkes elektrisches Feld, mit dem Ionen ionisiert und zum Substrat hin beschleunigt werden können, das von einem magnetisch schwebenden Probenhalter gehalten wird. Der Ionenfilter läßt nur geladene Partikel durch ihn hindurchtreten und steuert so die Art des Materials, das abgeschieden oder geätzt wird. CANON COSMOS I-1201 kommt mit einer Reihe von Gasen, wie Argon, Bortrichlorid, Schwefelhexafluorid und Schwefelwasserstoff, sowie einer elektrischen Stromversorgung und verschiedenen anderen Zubehörteilen. Das System weist ferner eine einstellbare Gasströmungsgeschwindigkeit, die von 0,1 bis 100 Kubikzentimeter pro Minute einstellbar ist, sowie ein einstellbares Gasströmungsmuster auf, das die Steuerung des Abscheide- oder Ätzwinkels ermöglicht. Das Gerät wird mit einer Software geliefert, die die Anpassung von Ätz- und Abscheidungsparametern sowie die Steuerung der Maschine und die Überwachung ihrer Leistung ermöglicht. Die Software verfügt auch über eine grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Bedienung von ANELVA COSMOS I-1201 ermöglicht. Insgesamt ist COSMOS I-1201 ein präziser und vielseitiger Reaktor, der sich für verschiedenste Prozesse in der Halbleiterindustrie wie Ätzen und Abscheiden eignet. Sein Design ist gut geeignet für hochwertige, geringe Volumenarbeit. Es ist auch relativ einfach und einfach zu bedienen, so dass es ein nützliches Werkzeug für diejenigen, die ihre Prozesse schnell und effizient durchführen müssen.