Gebraucht CANON / ANELVA FC-3100 #9292992 zu verkaufen

CANON/ANELVA FC-3100 ist ein fortschrittlicher vertikaler elektrochemischer Ätzreaktor, der speziell für Hochdurchsatz-Photoresist-Ätzprozesse entwickelt wurde. Dieses Gerät wurde entwickelt, um Anwendern eine hohe Endpunktgenauigkeit und eine kritische Gleichmäßigkeitslückendeckung zu bieten. Das System umfasst eine ganze Reihe von Funktionen, um die hochpräzisen Anforderungen sowohl der MEMs als auch der Herstellung integrierter Schaltungen zu erfüllen. CANON FC-3100 besitzt eine elektrochemische Ätzeinheit, in der eine platinierte Titananode und eine Edelstahlkathode in eine platinierte Titanverteilerplatte eingelegt sind. Anode und Kathode sind mit einer Gleichstromquelle verbunden, zwischen denen ein elektrischer Strom geleitet werden kann. Die Steuerung der Stromdichte, Belichtung und Elektrolytzusammensetzung ermöglicht es Benutzern, genau in dicke Photolackschichten zu ätzen. ANELVA FC-3100 umfasst einen Hochdurchsatz-Quarzreaktor für effizientes Ätzen. Dieser Reaktor kann bis zu vier 150mm Wafer gleichzeitig aufnehmen, was eine hohe Ausbeute ermöglicht. Die Reaktorkammer ist so ausgelegt, dass die Prozessbedingungen bei ausgezeichneter Temperaturregelung aufrechterhalten werden, was zu einem gleichmäßigen Ätzen aller Wafer führt. Die Maschine verfügt auch über integrierte Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Dazu gehören ein Inertgaseinspritzwerkzeug und eine computergesteuerte Datenprotokollierung, mit der Benutzer ihren Prozess optimieren und eine hervorragende Abdeckung kritischer Lücken aufrechterhalten können. Insgesamt ist FC-3100 ein fortschrittlicher vertikaler elektrochemischer Ätzreaktor mit einer Reihe von Funktionen, um Anwendern zu helfen, hohe Durchsatz- und Präzisionsätzprozesse zu erzielen. Es ist mit einem effizienten Quarzreaktor, einer Inertgaseinspritzsteuerung, einer computergesteuerten Datenprotokollierung und Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet, wodurch Benutzer während des gesamten Ätzprozesses eine hohe Endpunktgenauigkeit und eine kritische Gleichmäßigkeitslückendeckung erreichen können.