Gebraucht CANON / ANELVA FC 7100 #9293805 zu verkaufen

CANON/ANELVA FC 7100 ist ein hochwertiger reaktiver Ionenätzer (RIE), der typischerweise in den Prozessen der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) und der chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet wird. Der Reaktor ist für eine hochgenaue und präzise Steuerung des Ätzprozesses ausgelegt, die eine optimale Kontrolle und Gleichmäßigkeit der Oberflächenqualität ermöglicht. Sie besteht aus einer rohrförmigen Kammer, die mit einem Drehimpulsventil verbunden ist, das ein gutes Verdrehen der Gasgemische zur genauen Applikation des Ätzmittels ermöglicht. Die Kammer ist mit Stickstoff unter Druck gesetzt, was eine verbesserte Kontrolle der Umgebung und der Bedingungen im Inneren ermöglicht. Der Vakuumdruck wird durch eine robuste Turbo-Molekularpumpe aufrechterhalten, die auch eine intensive Beschleunigung der geladenen Partikel ermöglicht, die Ätzgeschwindigkeit erhöht und einen reibungslosen Ätzvorgang ermöglicht. Zusätzlich ist in die Kammer ein selbst erzeugter Niederdruck-chemischer Dampfverbund integriert, der während des gesamten Ätzprozesses eine kontinuierliche Zufuhr reaktiver Spezies ermöglicht und eine präzise und genaue Kontrolle der Ätzrate ermöglicht. Das Ätzplasma wird durch einen hochdichten 13,56-MHz-HF-Generator erzeugt, der je nach eingesetztem Gasgemisch ein stabiles Plasma zwischen 0,2 und 2 Torr liefert. Der HF-Generator wird von einem leistungsstarken Festkörpernetzteil mit einstellbarem Ausgangspegel zwischen 0 und 1000 W gespeist. Eine ausreichende Leistungsaufnahme sorgt für gleichmäßiges Ätzen und damit für eine gleichmäßige Ätzflächenqualität. Eine moderne mikroprozessorgesteuerte Spannungs- und Frequenzregelung garantiert einen reibungslosen Ätzprozess. Ein fortschrittliches Reaktionskammerdesign ermöglicht eine Vielzahl von Ätzparametern und Gasgemischen wie O2, BCl3, Cl2, CF4, CHF3, NF3 und Ar. Um ein homogenes Ätzen über die gesamte Probe zu sichern, ist die Kammer mit einer Niederdruckeinrichtung ausgestattet, die unabhängig von der Probenoberfläche die gleiche Ätzrate gewährleistet. CANON FC 7100 ist für eine breite Palette von Materialien geeignet, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Silizium, Metalle, Nitride, Oxide, Photoresist und diamantähnlichen Kohlenstoff. ANELVA FC7100 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Reaktor mit einer zuverlässigen Leistung, die auf eine Vielzahl von Ätzanforderungen zugeschnitten werden kann und eine hochwertige Oberflächenqualität bietet. Mit seiner Kombination aus fortschrittlicher HF-Erzeugungstechnologie, Hochleistungs-Festkörper-Stromversorgung und verschiedenen anderen Funktionen sorgt ANELVA FC 7100 für hocheffizientes Ätzen und eine präzise Steuerung des Ätzprozesses. Es ist eine wirtschaftlich effiziente Lösung für tägliche Ätzbedürfnisse, die gleichbleibende und qualitativ hochwertige Ergebnisse erfordern.