Gebraucht CANON / ANELVA FC 7100 #9400031 zu verkaufen

CANON/ANELVA FC 7100 ist ein Hochleistungsreaktor für die Halbleiterherstellung. Es verwendet eine einzigartige zylindrische mit-Flow-Design für eine viel niedrigere Kosten und kleinere Stellfläche im Vergleich zu herkömmlichen Reaktoren. Dieser Reaktor verwendet ein beheiztes Diamantfutter, um Wafer zu sichern, wodurch eine stabile und konsistente ebene Oberfläche für die Verarbeitung bereitgestellt wird. CANON FC 7100 ist besonders passend, um 200 Mm (8 Zoll) und 300 Mm (12 Zoll) Oblaten zu bearbeiten, einen Spezialplanarwellendrehmomentmotorlaufwerkmechanismus für das zuverlässige und genaue Mustern zeigend. Es verwendet integrierte Scanausrichter, um die Genauigkeit bei Ausrichtungs- und Musterprozessen zu überprüfen. Diese Prozesse können bei einer hohen Temperatur bis zu 900℃ erfolgen. Darüber hinaus verfügt dieser Reaktor über einen großen Quarzanzeigeanschluss zur Inspektion der Waferbearbeitung während der Mikrofertigung. Das Sichtfenster ist ebenfalls mit einer Antireflexbeschichtung versehen und über eine isolierte Masseleitung verbunden, was einen umfassenden Schutz gegen elektrische Geräusche beim Bewegen der Wafer bietet. Der ANELVA FC7100 Reaktor ist mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche ausgestattet, die es dem Bediener ermöglicht, die Verarbeitungsbedingungen mit bis zu 16 einstellbaren Parametern einfach zu steuern oder zu überwachen. Es enthält auch einen eingebauten Heizplattenheizer, um eine genaue Temperaturregelung beim Ätzen, Abscheiden und Reinigen zu gewährleisten. Mehrere Waferhalter können basierend auf den Anforderungen des Mikrofabrikationsprozesses in CANON FC7100 installiert werden. Zum Beispiel für den Einsatz in Siliziumwafern können die Halter mit einer Siliziumcarbidplatte als Basis ausgestattet werden, um die Ausbeute zu verbessern und eine bessere Oberflächengüte zu bieten. Darüber hinaus unterstützt CANON/ANELVA FC7100 mehrere Systeme zur Waferübertragung, darunter einen Lader und einen automatisierten Entlader. Die kompatiblen Systeme können zur einfachen Überwachung und Nachladung von Wafern im und aus dem Reaktor an die Hauptkonsole angeschlossen werden. Abschließend bietet FC 7100 eine effiziente und flexible Lösung für die Halbleiterherstellung. Sein solides und benutzerfreundliches Design und seine fortschrittlichen Funktionen, einschließlich der integrierten Ausrichter, der Heizplattenheizung und des verbesserten Sichtfensters, machen es zu einer geeigneten Wahl für kleine und große Produktionsanforderungen.