Gebraucht CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921 zu verkaufen

CANON I-1060SV2 + 1 ist eine Mehrzweck-Sputterausrüstung für Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es wird verwendet, um eine Vielzahl von Metallen, Legierungen, Oxiden, Nitriden und anderen Materialien auf Substraten abzuscheiden, um dünne Filme mit gewünschten Eigenschaften zu erzeugen. Das System besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine Vakuumkammer, leistungsstarke Magnetron-Sputterquelle, rotierender Substrathalter für gleichmäßige Abscheidung, Gasfördereinheit und eine umfangreiche Prozesssteuerung zur Überwachung und Steuerung der Maschine. Die Vakuumkammer ist aus Edelstahl gefertigt und zylindrisch mit integriertem Brausekopf-Sputter-Zieleinsatz ausgebildet. Es verfügt über einen internen Viewport zur Überwachung von Sputterkammern und hat einen variablen Druckbereich von 10-3 bis 10-8 Torr mit einem Basisdruck von 10-9 Torr. Die Magnetron-Sputterquelle besteht aus zwei Hochleistungs-Halogenlampen mit einer maximalen Ausgangsleistung von 20kw. Es hat eine hohe Ionisationsrate und bietet eine breite Palette von Materialien zum Sputtern. Der rotierende Substrathalter kann so programmiert werden, dass er sich mit einer einstellbaren Geschwindigkeit von 0,2 bis 10 U/min dreht, um eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat zu bewirken. Das Werkzeug enthält auch eine Schwingungsfunktion zur weiteren Homogenität. Die Gasfördereinrichtung dient dazu, für gewünschte Verarbeitungsparameter Gas in die Kammer einzuleiten. Das Modell hat einen Gasstrom von 0-100sccm, mit einer Gesamtgasdruckkapazität von 10-3 bis 10-8 Torr. ANELVA I-1060SV2 + 1 verfügt über eine effiziente Prozesssteuerung zur Überwachung von Parametern und zur Änderung der Einstellungen während des Betriebs. Dazu gehören ein programmierbarer Kammerdruckanzeiger, Temperaturanzeiger und Stromversorgungsspannungsmesser. Das System verfügt auch über Temperatur- und Überdruckalarme mit elektrischen Verriegelungsschutzschaltern. Insgesamt ist CANON/ANELVA I-1060SV2 + 1 eine fortschrittliche Sputtereinheit, die eine zuverlässige Leistung und effektive Abscheidung bietet. Es nutzt innovative Technologie, um Anwendern die aktuellste verfügbare Maschine anzubieten. Die breite Palette an Merkmalen und Komponenten machen es zu einem idealen Werkzeug für Forschungs- und Produktionsanwendungen in der Dünnschichtabscheidungsindustrie.