Gebraucht CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529 zu verkaufen

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Hersteller
CANON / ANELVA
Modell
I-1201 CX
ID: 9150529
PVD system, 12" 2004 vintage.
CANON/ANELVA I-1201 CX ist ein multifunktionaler Reaktor, der für verschiedene industrielle Anwendungen wie Sputterätzen, Halbleiterverarbeitung und andere Oberflächenbehandlungen entwickelt wurde. Es handelt sich um einen Mittel- bis Großreaktor mit einem zylindrischen Edelstahlkörper, der mit einem konischen Boden und einem schrägen Dach versehen ist, was dem Reaktor eine hohe Stabilität und Verwirbelungsschutz verleiht. Es bietet auch eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit des Plasmafeldes, die ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Oberfläche gewährleistet. CANON I-1201 CX wird in der Regel in einer Ultrahochvakuumumgebung eingesetzt, kann aber auch in einer Niedrigvakuumeinstellung betrieben werden. Es verfügt über ein 5,5 kW Hochfrequenznetzteil mit erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen, um die Leistung entsprechend den Prozessanforderungen anzupassen. Es kommt auch mit einer 5,5 kW DC-Vorspannung, die hilft, die Abscheidungsrate zu verringern. Weitere Merkmale von ANELVA I-1201 CX sind ein Quarzfenster, ein Plasma-Viewing-Port und ein verschlussgesteuerter Prozessgaseinlass, der eine hervorragende Prozesskontrolle und Stabilität für wiederholte und konsistente Oberflächenbehandlungsleistung bietet. Es weist außerdem eine Anodenschirmung auf, die die obere Elektrode vor dem Plasma schützt und einen großzügigen Abstand von der unteren Elektrode zur verbesserten Prozesssteuerung ermöglicht. I-1201 CX verfügt über ein fortschrittliches Power/Gas-Kontrollsystem, mit dem der Bediener das Gas/HF-Leistungsverhältnis genau steuern kann, um die Prozessergebnisse zu optimieren. Es umfasst erweiterte Diagnosen mit evolutionären Funktionen wie Fehlererkennung, Prozessüberwachung, Sicherheitsüberlastung und andere verwandte Funktionen. Die fortschrittliche Diagnose ermöglicht es dem Bediener auch, die Prozessparameter für höhere Effizienz und verbesserte Produktqualität zu optimieren. CANON/ANELVA I-1201 CX ist ein vielseitiger, robuster und zuverlässiger Reaktor, der konsistente Oberflächenbehandlungen auch in anspruchsvollsten industriellen Anwendungen gewährleistet. Dank seiner Langlebigkeit und Flexibilität ist es die ideale Wahl für mittel- bis großtechnische industrielle Verarbeitungsvorgänge. Seine fortschrittliche Technologie und Sicherheitsmerkmale machen es zu einer zuverlässigen und wirtschaftlichen Lösung für verschiedene Oberflächenbehandlungen.
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