Gebraucht CSD EPITAXY EpiPro 5000 #293771200 zu verkaufen

Hersteller
CSD EPITAXY
Modell
EpiPro 5000
ID: 293771200
Weinlese: 2008
EPI Reactor (2) Susceptors, 6" PILLAR RF Generator, 250 kW PILLAR Heat exchanger UPS NORCIMBUS TCS Minibubbler Gases: HCL, H2 N2 Purge Gases dopant 1: PH3 / H2 Mix Gases dopant 2: B2H6 /H2 Mix Aux dopant: PH3 / H2 Mix Belljar station 2008 vintage.
CSD EPITAXY EpiPro 5000 ist ein hochmoderner Epitaxiereaktor, der speziell für die Herstellung von optoelektronischen Geräten entwickelt wurde. Seine einzigartige modulare Konstruktion ermöglicht eine einfache Installation und flexible Konfigurationen, um verschiedene technologische Anforderungen zu erfüllen. Der Reaktor wurde speziell entwickelt, um einen benutzerfreundlichen Betrieb zu ermöglichen und gleichzeitig die maximale Leistung zu optimieren. Der Epitaxiereaktor verwendet eine speziell entwickelte geschlossene Schleifenlösung mit mehreren Gasströmen, wodurch die Prozesskammer in einer optimalen Umgebung gehalten werden kann. Die Präzisionstemperaturlinearisierung erfolgt in einem Drei-Zonen-Design, das eine präzise Steuerung der Dotierstoffflussleistung ermöglicht. Der Reaktor hat eine automatische Dotierungsflussregelung und eine maximale Temperatur von 1250 ° C. Die Prozesskammer hat auch eine abnehmbare Auskleidung, was die Wartung und Reinigung erleichtert. Die EpiPro 5000 ist mit automatisierten Lastaufnahmemitteln für den sicheren und schnellen Transfer von Wafern in die Prozesskammer ausgestattet. Die numerische Steuerung ist einfach zu bedienen und ermöglicht präzise Einstellungen für die Gasströme, Temperatur und Druck. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Pulsquarzeinheit es Benutzern, Prozessparameter jederzeit für eine bessere Prozessstabilität abzustimmen. CSD EPITAXY EpiPro 5000 verfügt über ein anpassbares Schutzgas zum Schutz vor FOD (Fremdkörperschutt) -Verunreinigung. Die konstante Druckgeschwindigkeitsmaschine unterhält eine dicht abgedichtete Kammer, minimiert Leckgeschwindigkeiten und optimiert die Bearbeitungsumgebung. Die Innenwand der Kammer ist aus Edelstahl, bietet Haltbarkeit und ausgezeichnete Leistung. EpiPro 5000 verfügt zudem über ein umfassendes Sicherheitswerkzeug, das jederzeit einen sicheren Betrieb gewährleistet. Die Anlage umfasst Temperatur- und Drucksensoren sowie mehrere Warn- und Stopplichter. Die Echtzeitüberwachung stellt sicher, dass der Reaktor im Betrieb in Spitzenzustand bleibt. Mit dem intuitiven Software- und Steuerungsmodell können Anwender auch CSD EPITAXY EpiPro 5000 fernüberwachen und bedienen. Abschließend ist EpiPro 5000 ein vielseitiger Reaktor mit zuverlässigen und benutzerfreundlichen Funktionen für unschlagbare Präzision und Leistung. Die fortschrittlichen Funktionen und anpassbaren Betriebsparameter machen diesen Epitaxiereaktor zu einer ausgezeichneten Wahl für eine fortschrittliche optoelektronische Geräteherstellung.
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