Gebraucht INTEVAC Matrix #9288407 zu verkaufen

INTEVAC Matrix ist ein hocheffizienter und kostengünstiger Reaktor, der speziell für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben und fortschrittlichen Materialien entwickelt wurde. Es verfügt über eine große Substratoberfläche und eine verbesserte Temperaturgleichförmigkeit für eine enge Prozessreproduzierbarkeit. Die inerte Vakuumumgebung ermöglicht den Betrieb bei hohen Temperaturen und Geschwindigkeiten und dadurch ist der Reaktor in der Lage, mit viel kürzeren Zykluszeiten als manuelle lösemittelbasierte Verarbeitungssysteme zu arbeiten. Im Herzen ist Matrix eine exklusive, All-Quarz-Dualvakuumkammerausstattung. Das Kammersystem vereint eine UHV-Primärkammer und eine reaktive Sekundärkammer. Diese Zweikammertechnologie ermöglicht eine anspruchsvolle Steuerung der Waferbearbeitung. Die Primärkammer dient zum physikalischen Aufdampfen und Ätzen, während die Sekundärkammer mit einer HF-Induktionsheizung ausgestattet ist, die zur thermischen Verarbeitung von Materialien wie High-K- und Low-K-Dielektrika verwendet werden kann. Durch diese Doppelkammerarchitektur entfällt auch die Notwendigkeit einer Transfermaschine, wodurch die Produktivität erhöht und die Betriebskosten gesenkt werden. INTEVAC Matrix wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Alle Betriebsbedingungen und Alarmaufzeichnungen können mit dem integrierten Telemetrietool fernüberwacht werden. Der Reaktor ist auch mit Interlocks und Selbstdiagnosesystemen ausgestattet, die das Risiko einer gefährlichen Stoffexposition reduzieren sollen. In Bezug auf Hardware ist Matrix mit Funktionen wie einem In-situ-Endpunkt-Überwachungsgerät, einer automatisierten Wafer-Überwachung, einem Schnellkühlmodell, einer verbesserten HF-Induktivheizung, einem verbesserten Druckregelsystem und einer voll integrierten automatisierten Ladeeinheit ausgestattet. Alle diese Funktionen bieten eine zuverlässige und benutzerfreundliche Maschine, die Prozesszyklen vereinfacht und die gesamte Prozesszeit reduziert. INTEVAC Matrix ist äußerst vielseitig einsetzbar und mit einer Vielzahl fortschrittlicher Prozessrezepte kompatibel. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Prozeßchemien wie thermische Oxidation, Nitrid-Abscheidung, Sputter-Ätzen und Photolithographie. Insgesamt ist Matrix ein fortschrittlicher und effizienter Reaktor, der sich ideal für die Halbleiter- und andere fortschrittliche Materialbearbeitung eignet. Seine hocheffiziente Konstruktion macht es ideal für die Prozessreproduzierbarkeit im Laufe der Zeit. INTEVAC Matrix ist für den sicheren und zuverlässigen Betrieb konzipiert und bietet Anwendern ein umfassendes Spektrum an Funktionen und Funktionen. Es ist die perfekte Wahl für Labore und Produktionsstätten, die herausragende Prozessreproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit verlangen.