Gebraucht INTEVAC Vertex Spectra Y09 #293626646 zu verkaufen

INTEVAC Vertex Spectra Y09 ist ein Hochleistungs-Elektronenstrahl-HF-CVD (Hot Filament Chemical Vapor Deposition) -Reaktor, der bei der Abscheidung verschiedener Materialien verwendet wird, einschließlich Kupfer, Kupferlegierungen und Kupfer-Kobalt-Legierungen. Der Reaktor verwendet zwei unabhängig voneinander und gleichzeitig arbeitende Elektronenstrahlkanonen, kombiniert mit einer neuen vorgeformten Plasmaquelle. Diese Merkmale ermöglichen die Abscheidung von präzise konstruierten Halbleiterfilmen bei hohem Durchsatz bei minimierter Abscheidegeschwindigkeit. Der Reaktor bietet die ultimative Prozessflexibilität und nutzt drei unabhängige Heizquellen, die in der Vakuumkammer erzeugt werden. Die vorgeformte Plasmaquelle liefert eine hochleistungsfähige, stabile Entladung, die die Abscheidung gleichmäßiger und präzise konstruierter Folien mit minimierter Oberflächenrauhigkeit ermöglicht. Dies ermöglicht auch eine stärkere Kontrolle der Wachstumsrate und des chemischen Potentials von Filmen, da es die Oxidation der Substratoberfläche vor dem Abscheidungsprozess ermöglicht. Die Elektronenstrahlkanonen sind in der Lage, bis zu 37 kW Leistung zu liefern, mit einer hohen Emissionsstromdichte zur Abscheidung von Filmen mit hohem Seitenverhältnis bei hohen Abscheidungsraten. Hierdurch entstehen hochkarätige Folien, die auf ihren darunterliegenden Schichten mit extrem geringer Defektdichte gut verklebt sind. Die Elektronenstrahlkanonen bieten auch eine hohe Steuerbarkeit, was dem Benutzer volle Flexibilität bei der Einstellung der Prozessparameter gibt. Die verarbeitbaren Schichtdicken reichen von 10 nm bis 1 μ m bei einer minimalen Korngröße von 1 μ m. Vertex Spectra Y09 Kammerabmessungen sind 500 mm Durchmesser x 580 mm Höhe und die innere Volumenatmosphäre ist ein typischer 5 mTorr. Es wird von einer 3400 L Hochdruckpumpe angetrieben, die eine schnelle Vakuumpumpgeschwindigkeit und verbesserte Kammerdruckstabilität liefert. Der Gaseintrittszugang befindet sich an der Oberseite der Kammer und es gibt einen linearen Tunnelwaferübertragungsmechanismus für die Waferbelastung. INTEVAC Vertex Spectra Y09 bietet eine anspruchsvolle, benutzerfreundliche PC-basierte Software mit automatisierten Parametereinstellungen für eine einfache Prozesseinstellung. Darüber hinaus bietet es Speicher mit hoher Kapazität für Datenspeicher mit großer Kapazität, sodass die bisherige Prozessleistung einfach überwacht und analysiert werden kann. Das Gerät entspricht auch den Standard-Sicherheits- und Umweltvorschriften, einschließlich CE- und ISO 13485-Zertifizierung. Vertex Spectra Y09 bietet ein flexibles, qualitativ hochwertiges Abscheideverfahren für Forschungs- und Fertigungsanwendungen.