Gebraucht LAM RESEARCH Altus Max #293804671 zu verkaufen

LAM RESEARCH Altus Max ist ein Hochleistungs-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Reaktor für fortgeschrittene Materialabscheidungsanwendungen. Es eignet sich für eine Vielzahl von Verfahren, einschließlich hoher Abscheideraten und ultradünner Schichten bis zu einer Dicke von 5 nm. Das Gerät verfügt über ein fortschrittliches Quelldesign mit unabhängiger Gasströmung, Druck- und Temperaturregelung für mehrere Gase. Fortschrittliche Prozesssteuerung ermöglicht dreidimensionale Gleichmäßigkeit für anspruchsvolle Dünnschichtanwendungen. Altus Max bietet integrierte Hardware- und Softwarefunktionen zur optimierten Prozesssteuerung. Es verfügt über eine große Linienbelastung für maximale Betriebszeit, max Tempo™ Software für schnelle Prozessanalyse und eine modulare Architektur für flexible Systemsteuerung. Das Gerät umfasst außerdem einen inno@mapper™ C1-Controller mit integrierter Medienquelle sowie verschiedene Integrationsstufen zur Prozesssteuerung und -messung. LAM RESEARCH Altus Max ist nach den höchsten Sicherheitsstandards gebaut, und die Maschine umfasst mehrere Sicherheitsmerkmale, wie Druck- und Temperaturüberwachung, automatische Abschaltungen und einen brennbaren Gasdetektor. Das Tool wurde entwickelt, um eine zuverlässige Prozesskontrolle mit minimierten Ausfallzeiten und Wartungsarbeiten zu gewährleisten. Altus Max bietet eine Auswahl an Aftermarket-Modulen, darunter eine optionale Robotik-Lösung für verbesserte Effizienz und Redundanz, ein Ionisationsmessgerät für die Echtzeit-Prozesssteuerung und eine große Kammer für kleine Funktionsgrößen. Es ist auch mit einer Vielzahl von Quell- und Substratkonfigurationen erhältlich, einschließlich Einzel- und Mehrkammersystemen, um spezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen. LAM RESEARCH Altus Max ist auch mit einer modularen Architektur konzipiert, die von einer einzigen Kammer bis zu einem Vier-Kammer-Asset reicht. Durch die integrierte Software bietet das Modell eine schnelle, genaue und stabile Steuerung von Prozessparametern, die für eine konstante Produktleistung unerlässlich ist. Die integrierte Software ermöglicht auch Datenprotokollierung, Prozessoptimierung und automatisierte Rezepte. Insgesamt ist Altus Max ein zuverlässiger, benutzerfreundlicher PECVD-Reaktor, der für hochkarätige Anwendungen zur Materialabscheidung entwickelt wurde. Das fortschrittliche Quelldesign, die schnelle Prozesssteuerung, integrierte automatisierte Software und eine breite Palette an Aftermarket-Modulen machen es zu einer idealen Wahl für viele Branchen.