Gebraucht LAM RESEARCH Altus #293814196 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Altus ist ein innovativ entwickelter Reaktor für optimale Leistung bei Ätz- und Abscheidungsprozessen. Es bietet eine verbesserte Temperatur- und Druckregelung für präzise Materialabscheidung und Substratgleichförmigkeit. Darüber hinaus ermöglicht die vielseitige Technologieplattform die Integration fortschrittlicher Ätz- und Abscheidungstechnologien, um die beste Kombination für einen bestimmten Prozess zu bieten. Altus verfügt über einen kompakten, vollständig geschlossenen Reaktor, der viele verschiedene Ätz- und Ablagerungsrezepte unterstützen kann. Es bietet turbulentfreie Codierung, intern erzeugten Druck und überlegene Ätz- und Abscheideraten aufgrund hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der Reaktor ist mit einem roboterfreundlichen, abgedichteten Schrank und eingebauten Prozesssteuerungsfunktionen, die Bereitstellung und Integration einfach machen ausgelegt. LAM RESEARCH Altus ist vielseitig und zuverlässig, mit drei getrennten Kammern, die eingerichtet werden können, um Trockenätzen, Nassätzen und Atomschichtabscheidung (ALD) durchzuführen. Das Kammerdesign erhöht die Prozessflexibilität und ermöglicht die Abscheidung mehrerer unterschiedlicher Materialien ohne Requalifikation. Die adaptive Verarbeitungssoftware führt sowohl vordefinierte als auch proprietäre Verarbeitungsalgorithmen aus, die die Produktivität erhöhen, die Zykluszeit reduzieren und eine verbesserte Prozessleistung gewährleisten. Die Reaktorsteuerung verfügt über hochgenaue Temperatur- und Druckregelungen, die druckresistent sind und einen gleichmäßigen und reproduzierbaren Prozess ermöglichen. Darüber hinaus nutzt Altus eine zentrale Prozessdatenbank, um während des Betriebs aufgezeichnete Informationen zu verwalten und Rezepte zu speichern. Die integrierte Software kann so konfiguriert werden, dass direkte Systemalarme für signifikante Prozessereignisse per E-Mail an den Betreiber gesendet werden. LAM RESEARCH Altus ist ein fortschrittlicher Ätz- und Ablagerungsreaktor, der die höchste Leistung, Genauigkeit und Reproduzierbarkeit für verschiedene Ätz- und Abscheidungsprozesse liefert. Das vielseitige Prozessleitsystem bietet eine überlegene Wiederholbarkeit und entfällt die Notwendigkeit der Requalifizierung von Prozessen. Mit der integrierten Prozessdatenbank für Rezept-Management und den integrierten Prozesssteuerungsfunktionen bietet Altus maximale Effizienz bei erhöhter Produktivität.
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