Gebraucht LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339 zu verkaufen

LAM RESEARCH C3 Ice mod ist ein hocheffizienter, kostengünstiger Plasmaätzreaktor, der in der Lage ist, Dünnschicht- und metallische Materialien präzise zu ätzen. Es ist eine kompakte und kostengünstige Ausrüstung, die für den Einsatz bei der Herstellung von Halbleitern und anderer Elektronik konzipiert wurde. Die Netzteile von C3 Ice mod sind in der Lage, bis zu 650 ° C Hochtemperaturplasmen zu erzeugen, was es ideal für Hochtemperaturglühen, Präzisionsmetallätzen und anodische Filmabscheidung macht. Das System besteht aus vier Komponenten, die Modular Interface Controller (MIC), Mainframe, Modular Power Supply (MPS) und zwei Ion Source Control Units (ISC) sind. Das MIC ist die zentrale Verarbeitungseinheit, die für die Gesamtsteuerung und Automatisierung der Einheit verantwortlich ist. Es ist verantwortlich für die Steuerung und Überwachung aller Maschinenparameter wie Prozesstemperatur, Druck, Gasfluss und Druck und Stromversorgungsanpassungen. Das Großrechner enthält die Kammerkomponenten, Vakuumpumpen, Kühlsubsysteme, Sicherheitssysteme und Ionenstrahlquellen usw. Das MPS ist für die Erzeugung des Niederspannungs-Hochtemperatur-Plasmas für den Ätzprozess verantwortlich. Die ISC-Einheit ist für die Erzeugung von Hochstrom-Plasmastrahlen und die Kühlung der Substrate verantwortlich. LAM RESEARCH C3 Ice mod ist mit zwei Vakuumkammern ausgestattet und bietet Platz für bis zu sechs Substrate. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Ätzgaschemien wie Sauerstoff, Argon, Stickstoff und Chlor kompatibel. Es ist in der Lage, die Ätztiefen und -tiefen von Merkmalen mit einer Präzision von 1 Mikron zu steuern. C3 Ice mod verfügt über eine automatisierte Gasförderanlage zur präzisen Steuerung von Ätzgasströmen. Es hat auch einen einstellbaren HF-Generator zur präzisen Steuerung von Plasmaparametern wie Druck, Temperatur und Ionenstrahlbeschleunigung. LAM RESEARCH C3 Ice mod ist auch mit einer Reihe von diagnostischen Instrumenten wie optische Emissionsspektroskopie und Massenspektrometrie ausgestattet. Dies ermöglicht die genaue Bestimmung von Ätzraten, Ätztiefe, Substratdicke, Filmhaftung, elektrischen Eigenschaften und anderen Prozessparametern. C3 Ice mod ist hocheffizient und kostengünstig und bietet ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei der Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen.