Gebraucht LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel #9394296 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9394296
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
CVD System, 8"
Mainframe
Gas box: Standard with dual divert
Robot: Express dual blade
(3) Cool down slots
Dual wavelength endpoint
Sequel Chamber:
TEOS Sequel express
TEOS Sigma (6) Cabinets
(2) Speed chambers:
PFEIFFER 1600L Turbo
2000 vintage.
LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel (C2SS) ist ein fortschrittlicher quasi-atmosphärischer atmosphärischer atmosphärischer Druckplasmareaktor (APP Reactor), der für Anwendungen zur Oberflächenbehandlung mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Die C2SS nutzt ein einzigartiges Dual-Phase-Plasma-Verfahren, wobei zwei getrennte Prozesse gleichzeitig stattfinden, die dem Substrat jeweils unterschiedliche Vorteile bieten. Der C2SS Reaktor weist einen zweiphasigen Plasmagenerator auf, der eine optimierte Prozesssteuerung des Plasmasystems ermöglicht. Die erste Phase des Verfahrens ist ein Niederdruck-HF-basiertes Plasma, das zur Erzeugung einer geladenen Teilchenwolke aus dem Prozessgas verwendet wird. Diese Wolke wird dann in der zweiten Phase, Hochdruck-DBD-Plasma verwendet. Die Hochdruckphase erhöht die Dichte der geladenen Teilchenwolke, was zu einem besseren Kontakt und einer verbesserten Behandlungstiefe führt. Der C2SS Reaktor weist ein einstellbares Prozesskammervolumen von 1 bis 10 Liter auf. Dies ermöglicht die Verarbeitung eines breiten Spektrums an Substraten, von kleinen Bauteilen bis zu großen Teilen mit Abmessungen von 200mm x 300mm oder größer. Der Reaktor verfügt auch über ein duales In-Line-Filtersystem, das unerwünschte Partikel entfernen kann, um den Reaktor auf seinen Spitzenwirkungsgrad zu halten. Der C2SS Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu verarbeiten, darunter Kunststoffe, Metalle, Keramik, gefüllte Kunststoffe und Verbundstoffe. Das Verfahren kann für Oberflächenbehandlungsanwendungen wie Reinigung, Ätzen, Oberflächenaktivierung und Modifikation eingesetzt werden. Es kann auch für Abscheideverfahren, wie Barriere und antistatische Beschichtungen Anwendung finden. Der C2SS Reaktor kann in eine Produktionslinie integriert werden, was einen kostengünstigeren Betrieb ermöglicht. Das C2SS ist auch ein zuverlässiges und wartungsfreundliches Produktionswerkzeug. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine schnelle Einrichtung und einfache Fehlerbehebung und die integrierten Sicherheitssysteme sorgen für einen insgesamt sicheren Betrieb. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH C2SS ein hochmoderner atmosphärischer Druckplasmareaktor mit einem einzigartigen Dual-Phase-Plasma-Verfahren. Mit seinem breiten Spektrum an Prozessoptionen, einstellbarem Kammervolumen und Filtersystem sowie seiner Zuverlässigkeit und einfachen Wartung ist das C2SS eine ideale Hochdurchsatzlösung für Oberflächenbehandlungs- und Abscheidungsanwendungen.
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