Gebraucht LAM RESEARCH DSM 9900 #293587928 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
DSM 9900
ID: 293587928
Wafergröße: 8"
ECR CVD Silicon oxide system, 8" (2) Process chamber modules Heating chuck, 8" BROOKS AUTOMATION Cluster handling system Supports microwave plasma With electromagnetic field (ECR Mode) Gases: Argon, Oxygen, Silane NF3 For in-situ cleans RHcP Microwave guide upgrade Control module With monitor BROOKS AUTOMATION Vacuum transfer module Main power box (2) Power control deck With ASTEX 2050 Microwave power LAM 2080 TCU Chiller / Heat exchanger ALCATEL ADS 501 Dry pumps.
LAM RESEARCH DSM 9900 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzreaktor, der für die Verarbeitung verschiedener Materialien wie Silizium, Polyimid, Glas und sogar bestimmter Metalle verwendet wird. Das Gerät wird mit hochwertigen Komponenten und Fertigungstechniken konstruiert, um hohe Plasmaerzeugungsfähigkeiten und wiederholbaren, zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Mit seinen einzigartigen chemischen Fähigkeiten ist LAM RESEARCH 9900 in der Lage, eine breite Palette von Strukturen mit Architektur und Mikrotopographie zu ätzen. LAM RESEARCH 9900 ist ein „Source-Drain“ -Typ eines proportionalen Ätzreaktors, der sichere Regelungssysteme und kryogene Kühlung verwendet, um ein effizientes, schnelles Plasmaätzen aller Materialien zu ermöglichen. Das Gerät ist für den Betrieb im Nieder- oder Hochfrequenzmodus ausgelegt und bietet Flexibilität und Präzision während des Ätzprozesses. Die Stromversorgung, die Reaktorkammer und Prozesskomponenten wie Inertgase, Ätzarten und Dotierstoffe werden unabhängig voneinander gesteuert und optimiert, um eine genaue und wiederholbare Verarbeitung zu gewährleisten. DSM 9900 Reaktor ist eine vielseitige Ätzausrüstung, die die Verarbeitung von verschiedenen Substraten und Materialien mit einer breiten Palette von Geometrien ermöglicht. Das System umfasst anspruchsvolle Gassteuerung, keramische Pumpöffnungen und monolithische Wafer-Handhabungskomponenten, um ein Höchstmaß an Stabilität und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Das Gerät bietet auch eine fortschrittliche Überwachungsmaschine mit automatischer Diagnose, die für optimale Ergebnisse sorgt. LAM RESEARCH DSM 9900 Reaktor wurde für Kunden entwickelt, die den höchsten Ertrag und Durchsatz für harte Materialien wie Silizium, Kupfer und sogar Gold benötigen. Dieses industrielle Werkzeug bietet eine vollständige Kontrolle und Überwachung aller Prozessvariablen und gewährleistet höchste Ausbeute und Genauigkeit. Die breite Palette der verfügbaren Funktionen und mehrere Betriebsmodi machen es zur idealen Lösung für jede Ätzanwendung, von einfach bis komplex. Darüber hinaus ist das Modell mit einer Vielzahl von Peripheriegeräten kompatibel und kann in eine größere Prozesslinie integriert werden.
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