Gebraucht LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183 zu verkaufen

LAM RESEARCH Dual Sola Excel ist ein hocheffizienter, optimierter Heißwandreaktor für Ätz- und Abscheideprozesse. Es ist ein Zwei-Kammer-Reaktor mit einer Kammer zum Ätzen und die andere zum Abscheiden. Die Kammern sind durch eine dreiwandige Keramikkammer getrennt, die eine Dünnschichtquelle aufnimmt. Dadurch wird ein maximaler Wirkungsgrad durch den Verzicht auf direkten Kontakt zwischen Quelle und Prozesskammer gewährleistet. Die Reaktionskammer ist mit einer hochreflektierenden Edelstahl-konformen Abschirmung für maximalen Wirkungsgrad abgedeckt. Die Reaktionskammer weist ferner eine Anode und Kathode für die Plasmakammer und eine Einrichtung zum Einleiten von Dotierstoffen und Ätzgasen auf. Das Prozeßgefäß wird durch Magnetrührer mit Frequenzregelung gerührt, um die Gleichmäßigkeit des Prozesses zu gewährleisten. Das Prozessgefäß verfügt über ein eingebautes Gasevakuierungssystem, das die Evakuierung des Prozessgefäßes vor und nach dem Prozess ermöglicht. Dual Sola Excel ist für den Hochdurchsatz-Ätz- und Abscheidungsprozess für hohe Produktionsstufen mit niedrigem Ätzrückstand konzipiert. Es eignet sich perfekt zum Ätzen und Abscheiden von dünnen Schichten aus Siliziumdioxid und anderen Materialien in Halbleiterherstellungsprozessen. Die Doppelkammer ermöglicht ein effizientes Prozessmanagement, so dass der richtige Ätz- oder Abscheideprozess erhalten bleibt. Das Heizsystem sorgt für eine gleichmäßige Temperatur in der gesamten thermischen Reaktionskammer. Der thermische Reaktor wird von einer Präzisionstemperaturregelung umschlossen, die eine konsistente Temperatur im Reaktionsraum gewährleistet. Es kann auch fernüberwacht werden, was eine ausgezeichnete Kontrolle und Bequemlichkeit ermöglicht. LAM RESEARCH Dual Sola Excel verfügt auch über einen integrierten HF-Generator, mit dem verschiedene Ätz- und Abscheideprozesse mit dem Generator durchgeführt werden können. Der Kühlschrank ist mit Stickstoff beaufschlagt und ermöglicht einen Temperaturbereich von -60 bis 120 Grad Celsius. Es kann auch zur Metallverdampfung mit einer präzisen Feuchtigkeits- und Temperaturregelung verwendet werden. Insgesamt ist Dual Sola Excel ein effizienter und präziser thermischer Rollenreaktor für Ätz- und Abscheidungsprozesse in der Halbleiterindustrie. Es ermöglicht Anwendern die genaue Überwachung und Kontrolle des Prozesses und sorgt für konsistente, optimale Prozessergebnisse. Es eignet sich auch für die Metallverdampfung und kann mit einer breiten Palette von Materialien arbeiten.