Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293594356 zu verkaufen

Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
Inova
ID: 293594356
Wafergröße: 12"
PVD System, 12".
LAM RESEARCH Inova ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für empfindliche Präzisionsoperationen bei der Herstellung von Siliziumwafern und bei der Herstellung mikroelektronischer Geräte. Es ist das neueste verfügbare Werkzeug und das einzige mit Temperaturkontrolle bei Krypton- und Sauerstoffflussraten, das beispiellose Genauigkeit und Produktivität bietet. Das System verwendet hochreine Gase wie Krypton, Argon und Sauerstoff, um Siliziumschichten mit unglaublicher Genauigkeit und Kontrolle wegzuätzen. Inova verfügt über eine geschlossene Ionenquelle, die am Reaktorgefäß befestigt ist, und eine IOES (Ion Optical Energy Sources), die durch ein zusätzliches oberes Regal mit einer einzigartigen magnetischen Reinigungseinheit ergänzt wird. Diese Maschine hilft, Nanopartikel und Verunreinigungen zu trennen und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung zu erhalten. Das IOES-Tool verbessert auch den Durchsatz von Shortdepth und High-Depth-Ätzprozessen, wodurch beide Prozesse eine enge Kontrolle und Genauigkeit erhalten. LAM RESEARCH Inova Asset ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsmechanismen ausgestattet, die es und seine Komponenten vor Überdruckbeaufschlagung, übermäßiger Materialexposition und den Gefahren menschlichen Versagens schützen. Es ist mit einer speziellen Metall-Metall-Dichtung und Absperrventile ausgelegt, so dass das Modell bei einem sicheren und optimalen Druck gehalten wird. Zusätzlich werden die Flansche so optimiert, dass die Luftleckage minimiert wird. Inova-Ausrüstung verfügt auch über Scanning Resist Etching (SRE) -Technologie, die einen unabhängigen Resistblock verwendet, um die Ätztiefen genau und sicher zu steuern. Dies hilft Fehler zu vermeiden und sorgt für höhere Erträge. Der SRE hilft dabei, eine sehr konsistente Ätzrate im Laufe der Zeit aufrechtzuerhalten, was eine vollständige Konsistenz ermöglicht, ein Schlüssel für die Geräteproduktion. Neben seiner Genauigkeit und Präzision ist LAM RESEARCH Inova auch für seine Zuverlässigkeit und seine wartungsarmen Anforderungen bekannt. Es ist hochkorrosionsbeständig und hat eine lange Lebensdauer. Das System erfordert keine übermäßige Reinigung und kann über viele Jahre problemlos betrieben werden. Inova ist ein unglaublich leistungsfähiges und vielseitiges Ätzwerkzeug. Die fortschrittlichen Sicherheitsmechanismen, überlegene Genauigkeit und Präzision und die lange Lebensdauer des Geräts sorgen dafür, dass es eines der besten in der Siliziumindustrie verfügbaren Werkzeuge ist. Es ist das perfekte Werkzeug für jede mikroelektronische Geräteherstellung oder Wafer-Herstellungsprozesse.
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