Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293597136 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
Inova
ID: 293597136
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
System, 12" 2004 vintage.
LAM RESEARCH Inova ist eine Ätz-/Aschermaschine für präzise Plasmaätz- und Ascheanwendungen. Es verfügt über ein modernes PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) System, Dual-Temperatur-Fähigkeit und eine breite Palette von Rezepten zum Ätzen oder Aschen. Das Gerät bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für das Ätzen oder Waschen von Wafern. Es verfügt auch über eine fortschrittliche optische Kameramaschine, die den Wafer beim Ätzen oder Aschen überwacht und Echtzeit-Feedback zu Ätz- oder Aschebedingungen ermöglicht. Inova Ätzer/Ascher-Tool ist ein kostengünstiges, leistungsfähiges Asset für Plasmaätzen und -veraschen. Es verfügt über ein automatisches Gasdichtesteuerungsmodell, das eine präzise Einstellung der Plasmaumgebung für zuverlässige Ätz- oder Ascheergebnisse ermöglicht. Die PECVD-Ausrüstung ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen oder Aschen über Wafer, indem sie eine präzise kontrollierte, streng kontrollierte Plasmaumgebung bereitstellt. LAM RESEARCH Inova verfügt über Dual-Temperatur-Fähigkeit, die es dem Benutzer ermöglicht, schnell und einfach die genaue Temperatur für die Ätz- oder Ascheanwendung zu wählen. Die Dual-Temperatur-Option ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätz- oder Ascheprozesses. Inova verfügt auch über ein modernes optisches Kamerasystem, das den Wafer beim Ätzen oder Aschen überwacht. Dies ermöglicht ein Echtzeit-Feedback zu den Ätz- oder Aschebedingungen und liefert dem Anwender detaillierte Informationen zum Ätz- oder Ascheprozess. LAM RESEARCH Inova bietet eine breite Palette von Rezepten zum Ätzen oder Aschen, die dem Benutzer eine Reihe von verschiedenen Ätz- oder Aschemöglichkeiten bieten. Darüber hinaus verfügt es über eine automatisierte Kassettenarchitektur, die den Durchsatz erhöht, Ausfallzeiten reduziert und die Wiedergabe von Ätz- oder Auswertungsdaten verbessert. Dies erleichtert dem Anwender die Feinabstimmung der Bedingungen für optimale Ätz- oder Ascheergebnisse. Inova ist für den Einsatz in Hochtemperatur- und Hochvakuumprozessen wie Plasmaätzen und Aschen konzipiert. Es wurde entwickelt, um höchste Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten und dem Benutzer eine Reihe von Ätz- oder Veraschungsoptionen zu bieten. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Rezepten ist LAM RESEARCH Inova die ideale Wahl für jeden Ätz- oder Ascheprozess.
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