Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293597139 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System wurde für die großvolumige Chargenverarbeitung von Substraten konzipiert und zeichnet sich durch eine durchsatzstarke, geschlossene Kammerkonstruktion für die Produktion aus. Es verfügt über eingebaute Fähigkeiten für gas- und plasmainduziertes Ätzen und ist somit ideal für eine Vielzahl fortschrittlicher Ätzanwendungen. Das Kammerdesign von Inova besteht aus zwei Vakuumkammern, die durch einen keramischen Isolator getrennt sind und parallel bearbeitet werden können. Dies ermöglicht optimierten Durchsatz und maximale Prozessflexibilität. Zur Plasmaätzung oder ioneninduzierten Materialabtragung ist eine zusätzliche Ionenquellenkammer vorgesehen. Durch das adaptive Kammerdesign kann das Gerät sowohl hohe als auch niedrige Ätzrezepte mit hoher Flexibilität erreichen. Die Hardware der Maschine umfasst eine kollimierte Quelle mit laserartiger Anisotropie, die höchste Ätzraten, effiziente Substratreinigung und qualitativ hochwertige Ätzprofile bietet. Dies wird mit einer Reihe von integrierten Modulen kombiniert, einschließlich einer Reaktionskammer, Stromversorgung, Gas- und/oder Plasmaquelle, Laden/Entladen-Werkzeug, Temperatur- und Druckkontrolle und Vision-Systeme. LAM RESEARCH Inova ist für schnelle und einfache Substratbeladung konzipiert und eine vollständig integrierte Sicherheitsanlage, einschließlich eines Kartenlesers, hilft, Prozessrezepte während der Produktion zu schützen. Die Software für Inova-Plattform ermöglicht es dem Benutzer, alle Aspekte des Modells von einer einzigen GUI aus zu steuern, einschließlich der Steuerung der Lastsperre, der Rezeptentwicklung, der Laufsteuerung und der Prozessoptimierung. Die Software kann auch zur Fernüberwachung, Fehlerbehebung, Leistungsoptimierung und statistischen Prozesssteuerung verwendet werden. Insgesamt ist LAM RESEARCH Inova eine fortschrittliche Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die speziell für die Verarbeitung von Substraten mit hohem Volumen entwickelt wurde. Die Kombination aus Hard- und Software sowie die integrierte Sicherheit und das fortschrittliche Kammerdesign machen es ideal für hohe und niedrige Ätzrezepte. Mit seiner Vielseitigkeit und robusten Leistung ist Inova für eine Reihe fortschrittlicher Ätzanwendungen bestens geeignet.