Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241208 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus ist ein High-End-Gas-Cluster-Tool (GCT) für fortgeschrittene Halbleiterätzanwendungen. Dieses Werkzeug ist für die Massenproduktion und große Bearbeitungsanforderungen gedacht. Es ist in der Lage, komplexe Formen und Merkmale auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Photolack, Metalle und Isolatoren zu produzieren. NOVELLUS Altus GCT verwendet mehrere Prozessquellen, um Merkmale und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis auf dem Werkstück zu erzeugen. Die Prozessquellen umfassen ein Paar Einzel-Wafer, Selbstvorspannungs-Waferkammern, die individuell zugeschnittene Plumes von induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) erzeugen. Dies ermöglicht große Ätzflächen ohne zusätzliche Quell- und Gasversorgungssysteme. Die selbstvorspannenden Waferkammern sind in der Lage, mehrere Substrate gleichzeitig zu bearbeiten und können die Leistungseinstellungen und Gasdurchflussraten für jedes Werkstück unabhängig voneinander variieren. Dies ermöglicht eine exakte Prozesskontrolle über das Ätzprofil. Die Energie- und Gaszufuhr kann auch auf Basis des zu verarbeitenden Materials und des gewünschten Ätzprofils eingestellt werden. LAM RESEARCH Altus GCT verfügt auch über eine Steuerung und Messtechnik Ausrüstung, um Einheitlichkeit zu gewährleisten. Zur Überwachung der Ätzspezies und Quantifizierung der Gleichmäßigkeit des Prozesses wird ein einziges Spektrometer eingesetzt. Dieses System verwendet Kameras und Dual-View-Optik, um Gasfluss, Kammerdruck und Ätzrate zu messen. Altus GCT verfügt über eine hochautomatisierte Prozessrezeptur- und Validierungseinheit für alle Ätzebenen und Funktionsformen. Diese Maschine stellt sicher, dass das Ätzprofil für jedes Substrat die gewünschten Parameter erfüllt. Schließlich ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus GCT mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche ausgestattet. Dies ermöglicht eine einfache Parametereinstellung und Prozesssteuerung. Bediener können die GUI auch verwenden, um Betriebsbedingungen zu überwachen und die Ätzergebnisse in Echtzeit zu überprüfen. NOVELLUS Altus ist ein High-End-Tool für fortschrittliche Ätzanwendungen in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, überlegene Ätzergebnisse auf einzelnen oder mehreren Substraten zu liefern und ist für Massenproduktion und große Verarbeitungsanforderungen konzipiert. Es verfügt über ein hochautomatisiertes Tool zur Erstellung und Validierung von Prozessrezepten, eine Dual-View-Optik, eine Spektrometrie-Überwachung und eine benutzerfreundliche GUI.