Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241282 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus ist ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt wird. Es ist ein Einzelkammersystem, das für einen hohen Durchsatz und präzise Folien ausgelegt ist. Der Reaktor ist für die Abscheidung von Dielektrika, Metallen und anderen Materialien ausgelegt. NOVELLUS Altus-Reaktor verwendet eine Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Technik, um sein Plasma zu erzeugen, das Hochtemperaturätzen in einer kontrollierteren Umgebung ermöglicht. Die Höhe des Plasmas stellt sicher, dass die Reaktionspartner hohen Energieniveaus ausgesetzt sind, und die Kammer nutzt einen einzigartigen Multi-Mode-Betrieb, der sowohl Niedrig- als auch Hochtemperaturverarbeitung verarbeiten kann. Das Einzelkammerdesign ermöglicht auch kleinere Wafergrößen, wie sie in photonischen Anwendungen verwendet werden. Es ist in der Lage, Ultraclean-Beschichtungen herzustellen, die über den Wafer hoch gleichmäßig und gleichmäßig sind. Die Wafertemperatur kann während des Abscheideprozesses eingestellt werden, was eine stärkere Kontrolle des Endergebnisses ermöglicht. LAM RESEARCH Altus Reaktor verwendet auch intelligente Prozesssteuerung, die es dem Anwender ermöglicht, die Prozessparameter während des gesamten Abscheidungsprozesses zu überwachen und zu steuern. Mit diesem Verfahren kann die Abscheidung optimiert und eine optimale Gleichmäßigkeit der Folie auf dem Wafer gewährleistet werden. Die intelligente Prozesssteuerung sorgt zudem dafür, dass der Prozess mit einheitlichen Folien vollständig wiederholbar ist. Altus ist eine ideale Wahl für alle, die nach einem fortschrittlichen Abscheidungssystem suchen, das hohe Präzision und Wiederholbarkeit bietet. Seine Einkammer-Konstruktion macht es in der Lage, sowohl Nieder- als auch Hochtemperaturprozesse zu handhaben, und seine intelligente Prozesssteuerung ermöglicht eine größere Kontrolle über die Gleichmäßigkeit. Seine Fähigkeit, kleine Wafergrößen zu handhaben, macht es besonders gut für photonische Anwendungen geeignet.