Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270995 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus ist eine Art induktiv gekoppelter Plasmareaktor, der bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Diese Technologie verwendet eine toroidale Plasmakammer, um ein Plasma zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Es verfügt über eine dickwandige Quarzkammer bei unterschiedlichem Druck und Atmosphäre gehalten. Diese Kammer ist mit einem Gasgemisch gefüllt, in dem Elektronen zu hohen Energieniveaus angeregt und ionisiert werden, wodurch ein Plasma entsteht. Mit diesem Plasma werden dann Dünnfilmschichten aus spezifizierten Materialien auf Wafern abgeschieden. NOVELLUS Altus-Reaktor verwendet ein Gemisch aus mehreren Prozessgasen, darunter Argon, Sauerstoff, Stickstoff, Wasserstoff, Schwefelhexafluorid und seltene Gase wie Helium und Xenon. Diese Gase werden der Kammer mit einer vorgegebenen Strömungsgeschwindigkeit für jedes Gas zugeführt. Ein externer Plasmagenerator erzeugt ein energetisches Plasma in der Kammer und erwärmt es auf Temperaturen zwischen typischerweise 500 und 1200 Grad Celsius. Dieses Plasma kann die Moleküle der Prozessgase, die dann auf die Waferoberflächen reagieren, aktivieren und abbauen. Die Wafer werden vorgespannt, um die Ätzreaktion und Materialabscheidung auf ihren Oberflächen zu erhöhen. Die Hauptvorteile von LAM RESEARCH Altus Reaktor gegenüber Standard-Plasmareaktoren sind seine verbesserte Steuerung und Flexibilität gegenüber dem Ätzprozess. Die Steuerung ermöglicht es dem Benutzer, die Auswirkungen des Plasmas durch die Steuerung der Menge jedes Prozessgases, seiner Strömungsgeschwindigkeit und der Strahlleistung feinabzustimmen. Darüber hinaus kann es leicht geändert werden, um verschiedene Arten von Oberflächentopologie zu erstellen, wie Planarisieren und 3D-Ätzen, die für fortgeschrittene Chip-Designs benötigt werden. Schließlich ist Altus Reaktor ein sehr zuverlässiges und effizientes Werkzeug zum Abscheiden und Ätzen von Materialschichten auf Halbleiterbauelementen. Es ist auch kostengünstig, so dass Kunden die Vorteile seiner erweiterten Funktionen zu nutzen, ohne die Bank zu brechen. Mit seinem vielseitigen Design ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus die ideale Wahl für jeden Halbleiterhersteller.