Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9315037 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus
ID: 9315037
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Metal CVD system, 12" 2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus ist ein fortschrittlicher thermischer Vakuumreaktor für den Einsatz in dielektrischen Folien. Sie besteht aus einer Vakuumkammer, einer Strahlungsquelle, einem Kammerdruckregler, Heizgeräten, Massenstromreglern und einer Gasverteileinrichtung. Die Vakuumkammer bietet eine saubere Umgebung für die Abscheidungs- und Nachabscheidungsprozesse. Die Strahlungsquelle schafft die für den Abscheidevorgang notwendigen Bedingungen, während der Kammerdruckregler den Druck innerhalb der Kammer regelt. Die Heizgeräte stellen sicher, dass die richtige Temperatur während des Abscheideprozesses gehalten wird und die Massendurchflussregler messen den Druck, um die effiziente Verwendung von Gasen zu gewährleisten. Das Gasverteilungssystem verteilt Stickstoff und Wasserstoff in der gesamten Kammer für einen gleichmäßigen Prozess. Das Gerät überwacht auch den Spülvorgang der Kammer, um eine erfolgreiche Abscheidung zu gewährleisten. NOVELLUS Altus nutzt Zykluszeit und Durch-Satz-Optimierung durch mehrere Rezepte und Programme. Es bietet eine hohe Reproduzierbarkeit in einer kostengünstigen Lösung für die dielektrische Filmabscheidung. Die Maschine ist für hochwertige Lumineszenzschicht Dünnfilmabscheidung bei Minimierung von Kontaminationen und Defekten konzipiert. Darüber hinaus bietet der optionale Prozesscontroller des Tools eine softwarebasierte Prozesssteuerung und Datenverwaltung. LAM RESEARCH Altus ist ein zuverlässiges, robustes und benutzerfreundliches Asset, das eine fortschrittliche thermische Vakuumabscheidung für mehrere Anwendungen bietet.
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