Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #293819862 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed Reactor ist eine Hochleistungslösung für Ätz-, Abscheide- und Thermobearbeitungsanwendungen. Es ist mit zwei unabhängigen Prozessen in einer einzigen Kammer entworfen, so dass Benutzer eine Vielzahl von Mikrostrukturen und Materialien zu schaffen. Der Dual Speed Reactor ist in der Lage, Dual-Speed-Betrieb und kann hohe Temperaturen erreichen, bis zu 1400 ° C, wenn beide Gase verwendet werden. Es bietet eine schnelle thermische Verarbeitung und niedrige Abscheideraten, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen von der LED-Herstellung bis zu Silizium-Geräten geeignet ist. Für bestimmte Prozesse kann zur Erhöhung der Ätzrate eine zweistufige Gradientenrate verwendet werden. Der Dual Speed Reactor verfügt über ein horizontal geteiltes Bett, das mit zwei unabhängigen Patronen beladen ist. Die Reaktoren verfügen über zwei separate Injektoren, die je nach Prozessbedarf mit jeder Kombination von Prozessgasen - Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff und Argon - gefüllt werden können. Die Reaktanden können separat oder in Kombination für unterschiedliche Chemien untersucht werden. Die Reaktoren sind so konzipiert, dass sie schnell von einem Prozess zum nächsten übergehen und schnelle Zykluszeiten ermöglichen. Der Dual-Speed-Reaktor verfügt über hohe Leistungsabgabe und Diffusionsgleichförmigkeit, so dass es ideal für Tiefenätzen, einschließlich Prozesse wie Wolfram-Abscheidung. Es eignet sich für routinemäßige Produktionsanwendungen wie trockene, nasse und schnelle thermische Oxidation und Glühen. Der Reaktor kann auch zur Oberflächenreinigung, Kontakt- und Spaltfüllung, Kupferabscheidung, MEMS und Transistorherstellung verwendet werden. Der Dual Speed Reactor ist mit NOVELLUS APS-System ausgestattet, das es Anwendern ermöglicht, Temperatur, Druck, Reaktanten und Rezeptureinstellungen einfach zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus ermöglicht das CPXII-Modul eine automatisierte Wafer-Handhabung für schnelle und wiederholbare Leistung. Darüber hinaus verfügt der Dual Speed Reactor über ein fortschrittliches Kühlsystem, das einen Hubschrauberhohlraum und einen rotierenden Gasverteiler enthält, um die Effizienz zu verbessern. Dieses System trägt dazu bei, einen stabilen Prozess zu gewährleisten und die Gleichmäßigkeit über eine Vielzahl von Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten. Der Reaktor besteht aus einem leistungsstarken, wartungsarmen Design mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und kann entsprechend den spezifischen Kundenanforderungen konfiguriert werden. CONCEPT 2 Dual Speed Reactor ist einer der fortschrittlichsten Ätz- und Abscheidungsreaktoren auf dem Markt. Mit einer einzigartigen zweistufigen Gradientenrate, einstellbaren Temperaturen und zwei unabhängigen Prozessen ist es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Es verfügt auch über hohe Leistung und überlegene reaktive Gleichmäßigkeit, so dass es ideal für eine Vielzahl von Produktionsprozessen.