Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #293822308 zu verkaufen

LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express
ID: 293822308
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
System, 6" Dual loadlock Double‑sided handling robot Dual process chambers C2‑DLCM‑S MKS ASTRON Process сhamber SEQUEL-X M00A Process chamber (2) MKS ASTRON AX7645PS‑01 power supplies (2) ADVANCED ENERGY RFG 5500 RF generators (2) ADVANCED ENERGY PDX 1400 MF generators (2) EDWARDS EPX180L vacuum pumps (2) EDWARDS iXH1210H vacuum pumps Power cabinet Control computer Power supply: 208 V, 50/60 Hz, 3 Phase 2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist eine hochmoderne Reaktorausrüstung, die für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde, um den anspruchsvollen Anforderungen fortschrittlicher Chipherstellungsprozesse gerecht zu werden. Dieses innovative Tool umfasst modernste Technologien und Funktionen, um hohe Leistung, Präzision und Zuverlässigkeit bei Abscheide- und Ätzanwendungen zu gewährleisten. Im Mittelpunkt des NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reaktors steht das fortschrittliche Vakuumkammerdesign, das eine kontrollierte Umgebung für die Verarbeitung von Wafern mit außergewöhnlicher Reinheit und Gleichmäßigkeit bietet. Die Kammer ist mit Präzisionsgasfördersystemen, Temperaturregelmechanismen und Plasmaerzeugungsfähigkeiten ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Abscheide- und Ätzprozesse mit höchster Präzision und Effizienz durchgeführt werden. Eines der Hauptmerkmale von LAM RESEARCH CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor ist seine Vielseitigkeit im Umgang mit einer breiten Palette von Materialien und Prozessen. Das System ist in der Lage, verschiedene dünne Filme, wie Dielektrika, Metalle und Halbleiter, mit hoher Gleichmäßigkeit und Konformität abzuscheiden, so dass es ideal für erweiterte Logik- und Speicherchipherstellung ist. Darüber hinaus kann der Reaktor mehrere Wafergrößen und -typen aufnehmen, was Flexibilität in Produktions- und Forschungsumgebungen ermöglicht. CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor ist mit erweiterten Prozesssteuerungs- und Überwachungsfunktionen ausgestattet, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Gerät verwendet fortschrittliche Software-Algorithmen, um Prozessparameter in Echtzeit zu optimieren und eine präzise Kontrolle über Filmdicke, Zusammensetzung und Qualität zu ermöglichen. Zusätzlich ist der Reaktor mit In-situ-Messtechnik-Werkzeugen zur Überwachung der Folieneigenschaften während der Abscheidung ausgestattet, die wertvolle Rückmeldungen für Prozessoptimierung und Ausbeute bieten. In Bezug auf Ätzanwendungen bietet der LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor eine außergewöhnliche Ätzratenkontrolle, Selektivität und Einheitlichkeit für kritische Musterprozesse. Die Maschine enthält fortschrittliche Plasmaquellen und Gaschemie, um hohe Ätzraten zu erreichen und gleichzeitig die Kontrolle über kritische Abmessungen und Profiltreue zu erhalten. Der Reaktor verfügt auch über erweiterte Endpunkterkennungsfunktionen, um eine präzise Prozessbeendigung zu gewährleisten, Überätzungen zu minimieren und die Geräteleistung zu verbessern. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor ist mit Zuverlässigkeit und Betriebszeit im Auge, mit robusten Hardwarekomponenten und fortschrittlichen Diagnosesystemen für proaktive Wartung und Fehlerbehebung konzipiert. Das Tool ist auch mit Fernüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet, die Statusaktualisierungen in Echtzeit und Remote-Service-Unterstützung ermöglichen, Ausfallzeiten minimieren und die Produktivität maximieren. Insgesamt ist der LAM RESEARCH CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor ein hochentwickeltes und vielseitiges Werkzeug für die Halbleiterherstellung, das eine unübertroffene Leistung, Präzision und Zuverlässigkeit für Abscheide- und Ätzprozesse bietet. Mit seinen Spitzentechnologien und innovativen Funktionen steht der CONCEPT 2 Sequel Express-Reaktor an der Spitze der fortschrittlichen Chipherstellung für elektronische Geräte der nächsten Generation.
Es liegen noch keine Bewertungen vor