Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT 2 #293812831 zu verkaufen
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ID: 293812831
Wafergröße: 8"
Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 8"
(2) Cool stations
Transfer module robot: Mag 7
No transfer module pump
No loadlock pump
No process chamber pump
No abatement system.
LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2 reactor ist ein fortschrittliches Clusterwerkzeug, das speziell für komplexe Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt und hergestellt wurde. Es bietet eine Reihe von Funktionen, mit denen Designer die Prozesseffizienz und Zuverlässigkeit maximieren können, indem sie die leistungsstarken Funktionen und Stoffe voll ausnutzen. NOVELLUS CONCEPT 2 misst ca. 72 „x 78“ und ist in der Lage, 300 Mil Chipgrößen, die das Werkzeug gut geeignet für Anwendungen mit hoher Dichte macht. Durch die zahlreichen verfügbaren Substratkonfigurationen können mehrere Prozesse auf derselben Hardware ausgeführt werden. Dieses Gerät wird mit einem Advanced Process Control Überwachungssystem geliefert, das Prozessstabilität und effizienten Betrieb bietet. Einer der Vorteile der Einheit LAM RESEARCH CONCEPT 2 ist die Fähigkeit, mehrere Prozesse in einem Zyklus durchzuführen. Dies ermöglicht dem Hersteller eine höhere Produktivität und die Fähigkeit, komplexe integrierte Schaltungsstrukturen herzustellen. Die Mehrfachprozessfähigkeit ermöglicht auch eine verschärfte Lithographiekontrolle aufgrund der auf jedem Wafer vorhandenen mehreren Prozesspunkte. Darüber hinaus ist die Betriebsumgebung dieser Maschine aufgrund ihrer Gasvorreinigungs- und Abgasfähigkeiten sauberer als andere Reaktoren. Diese Funktion trägt nicht nur zur Aufrechterhaltung der Prozessintegrität bei, sondern verhindert auch Kreuzprozessverunreinigungen oder Produktverunreinigungen. Die automatisierte Wafer-Transport-/Ladeplattform sorgt für einen größeren Durchsatz mit großer Präzision und hilft zusammen mit der automatischen Lastfreigabe, die Verarbeitungszeit zu reduzieren. Ein weiterer wesentlicher Vorteil von CONCEPT 2 ist die In-situ-Messtechnik. Dieses Gerät ist so konzipiert, dass es sowohl optische als auch elektrische Prüfstationen umfasst, die schnelle und präzise Messungen ermöglichen. Der Metrology Metrics Analyzer gewährleistet eine genaue Fehlererkennung und -prüfung. Das Cluster-Tool LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2 ist eine hochmoderne Verfahrenstechnologie, die Herstellern helfen soll, ihre Prozessleistung und ihren Ertrag zu maximieren. Seine Flexibilität und erweiterten Funktionen bieten eine großartige Gelegenheit, den Durchsatz und die Zuverlässigkeit zu erhöhen und gleichzeitig die Kosten zu senken. Es ist ein wertvolles Gut für jeden Halbleiterhersteller aufgrund seiner zuverlässigen Prozessstabilität, umfassenden Funktionen und sauberen Betriebsumgebung.
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