Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293650146 zu verkaufen

ID: 293650146
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
CVD System, 12" 2014 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Altus Max ist ein ALD-Werkzeug (Atomic Layer Deposition), das es Prozessingenieuren ermöglicht, die für die fortschrittliche Geräteherstellung erforderlichen qualitativ hochwertigen Ergebnisse zu erzielen. Das Altus Max-Tool ist aufgrund seines innovativen Designs und seiner vollen Automatisierungsfunktionen für hohe Produktivität und niedrige Betriebskosten konzipiert. Der Altus Max ist eine Prozesskammer, die einen Vakuum- und Abscheidetreiber enthält. Die Kammer hält bis zu zwei Reaktoren und ist in der Lage, mehrere Kammern gleichzeitig zu betreiben. Das System verfügt zudem über eine komplette Roboterautomatisierung, die einen modularen Austausch von Kammern, Wafern und Komponenten ohne Unterbrechung des Produktionszyklus ermöglicht. Das Hauptmerkmal des Altus Max-Systems ist seine Fähigkeit, hochwertige dünne Filme mit ALD abzulegen. Dieses ausgeklügelte Verfahren beinhaltet eine sequentielle Schichtung zweier separater Vorläufer auf der Waferoberfläche. Die Vorläufer können entweder selbstmontierende Monoschichten (SAMs) oder verdampfte verdampfte Vorläufer sein. Die für das Tool entwickelte Software ermöglicht schichtweise Genauigkeit und wiederholbare Prozessleistung. Das ALD-Verfahren des Altus Max ist äußerst vielseitig einsetzbar und kann auf die technologischen Anforderungen einer Vielzahl von Anwendungen wie fortschrittliche Verpackungen, Speichergeräte und MEMS-Komponenten zugeschnitten werden. Die mit dem Werkzeugbereich zwischen 30-1000 Wafern/Stunde erreichten Produktionsraten ermöglichen eine einfache Skalierung des Produktionsvolumens. Der Altus Max ist ein zuverlässiges Werkzeug mit einer bewährten Erfolgsbilanz zuverlässiger Prozessergebnisse. Die Software verfügt über eine benutzerfreundliche Oberfläche und vollständige Reporting-Funktionen, und alle Komponenten sind für eine längere Lebensdauer mit minimaler Wartung konzipiert, so dass eine niedrige Kosten-of-ownership, auch für die Serienproduktion. Der Altus Max ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Werkzeug in NOVELLUS-Produktreihe, entworfen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse und wiederholbare Prozessleistung zu gewährleisten, sowohl für Forschung und Produktion Anwendungen. Es bietet eine zuverlässige, kostengünstige Möglichkeit, fortschrittliche Geräte mit einer echten Rendite herzustellen.
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