Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620 zu verkaufen
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ID: 293618620
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
System, 12"
Ashable hard mask
Interconnect cable: 75 ft
Atmospheric robot configuration friction end effector
Mounting for light tower audio buzzer wall/flush mount
Load lock pump:
Primary user interface flat panel right
Express
System options:
4-Colors signal tower (RYGB)
IMM Readiness over left load lock
Third FOUP
(3) FOUP RFID Readers
FA Communication interface
AHM Deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display package
Heated process manometer
Leak check shut off value
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein robuster Reaktor für Produktionsumgebungen. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die eine anspruchsvolle vakuumbasierte Plattform nutzt, um ein unvergleichliches Maß an Leistung, Effizienz und Zuverlässigkeit zu bieten. Sein innovatives Design verwendet ein integriertes Vektorierungssystem, um Gas und Plasma über eine große Oberfläche zu dispergieren, um die Gleichmäßigkeit zu erhöhen. Das Gerät ist vollautomatisiert und mit fortschrittlichen Diagnose- und Echtzeit-Prozessüberwachungsfunktionen ausgestattet. Seine ausgeklügelte Steuerungsmaschine ermöglicht präzise Wärmeausgleich, Druckregelung und Kammerreinheit. NOVELLUS Concept 3 Vector Express eignet sich hervorragend für eine effiziente Dünnschichtabscheidung. Es beinhaltet einen HF-Generator, eine Pumpenschnittstelle, maßgeschneiderte Prozesskammerabgase, Plasmadiagnosen und eine vollständige Automatisierung. Das auffällige Merkmal von LAM RESEARCH Concept 3 Vector Express ist sein integriertes Vectoring-Tool. Dabei handelt es sich um eine Reihe leistungsfähiger Gaskontrollstäbe, die Plasma und andere Gase gleichmäßig über die Oberfläche des Zielsubstrats verteilen. Dies erhöht die Gleichmäßigkeit der Folie auch bei reaktiven Prozessen. Es erhöht auch die untere Zeit und verbessert die gesamte Prozesseffizienz. Die innovative Prozessgaskontrolle bietet schnelle Reaktionszeiten, eine präzise Steuerung der Gaszusammensetzung und eine verbesserte Modellsauberkeit. Es sorgt für eine optimale Umweltbilanz in der gesamten Kammer gehalten wird, was zu einer verbesserten Materialqualität. Die fortschrittliche Diagnostik ermöglicht auch die Echtzeitanalyse von Plasmaparametern und Substratqualität. Concept 3 Vector Express ist mit langlebigen Materialien konstruiert, die eine überlegene Beständigkeit gegen chemische und thermische Erosion bieten. Dadurch ist das System in der Lage, eine Vielzahl von Produktionsprozessen zu bewältigen. Es verfügt auch über integrierte Sicherheitssysteme und integrierte Funktionen, um die Wartungskosten zu reduzieren. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein bemerkenswerter Reaktor für mehr Produktivität und Zuverlässigkeit. Die fortschrittliche Prozessgassteuereinheit, die integrierte Vektoriermaschine und die ausgeklügelte Diagnostik ermöglichen eine präzise Substratabscheidung und kontrollierte Prozessbedingungen. Seine langlebigen Materialien und integrierten Sicherheitssysteme sorgen für langfristige Leistung und Zuverlässigkeit. Dies macht es zu einer attraktiven Wahl für Produktionsumgebungen.
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