Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist eine leistungsstarke Chargenreaktorausrüstung, die eine beispiellose Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit bei der Herstellung von Wafern bietet. Das System verfügt über eine automatisierte Schnittstelle, die es dem Benutzer ermöglicht, Einstellungen einfach einzurichten und zu ändern, wenn sich die Prozessanforderungen ändern. Es ist mit mehreren Kammer- und Filamentheizfunktionen ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Prozesstemperaturen und eine signifikant erhöhte Waferausbeute und Gleichmäßigkeit ermöglichen. Der Vector Express wurde mit einer präzisionsgesteuerten Heiz- und Kühlarchitektur entwickelt, die präzise und wiederholbare Entladungen und Ätzungen liefert. Das Gerät verfügt über eine einzigartige, rechteckige Kammer mit integrierten Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Fähigkeiten, die Schicht-für-Schicht-Wafer-Aufbau mit minimalen thermischen Schäden ermöglichen. Es nutzt eine Kombination aus Hochfrequenzleistung und Flugzeit-Massenspektrometrie, um die Eigenschaften von Waferfilmen zuverlässig einzustellen. Dieser einzigartige Reaktor ermöglicht einen hohen Durchsatz mit Batch-Prozessen, die bis zu sieben Tage ohne Unterbrechungen laufen können. Es verwendet auch mehrere Gasschränke, die die Abgasfiltration ermöglichen, um die höchsten Qualitätsergebnisse zu gewährleisten. Der Vector Express verfügt über eine effiziente Abgasmaschine, die durch eine Kombination aus Druck- und Temperaturmessung den Partikelverlust von der Waferoberfläche minimiert. Das Tool enthält auch mehrere Sicherheits- und Überwachungsfunktionen, die dazu beitragen, mögliche Kontaminationen oder strukturelle Probleme zu vermeiden. Diese Merkmale umfassen die Überprüfung der optischen Ausrichtung, eine Lecküberwachung für die Freisetzung brennbarer Gase und ein Temperaturüberwachungsmodell, das die Gleichmäßigkeit der Oberflächentemperatur des Wafers beibehält. Insgesamt ist NOVELLUS Concept 3 Vector Express ein zuverlässiger, leistungsstarker Reaktor, der Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit, hohen Durchsatz, präzisen Waferaufbau sowie verbesserte Sicherheits- und Überwachungsfunktionen bietet. Es nutzt fortschrittliche Technologie, die es Anwendern ermöglicht, Temperaturen und Ätzungen genau zu kontrollieren und schnell wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Durch den Einsatz von Vector Express können Produktionslinien die Prozesserträge erhöhen und die Kosten senken.